[实用新型]一种用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置及镀膜设备

说明书

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置及镀膜设备，该用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置包括：储气室，设有至少一个朝向太阳能基板延伸的引流管，在所述引流管远离所述储气室一端设有朝向所述太阳能基板喷射气体的开孔。本实用新型提供了一种用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置及镀膜设备，提高了硒蒸汽的利用率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置及镀膜设备。

背景技术

太阳能被认为是环保，使用方便的能源之一，且其取之不尽，用之不竭。太阳能发电池是实现太阳能转变电能的重要发明，其主要是利用光伏效应将光能直接转换成电能。其中太阳能薄膜电池具有成本低、转换效率高、性能稳定、弱光特性好等优点。

硒作为太阳能薄膜电池制作的基础物料，通过蒸发源加热硒使得固态硒转化为气态，由分配器喷射并充斥于太阳能薄膜电池制作的工艺腔室中，且可以自由运动，现有的分配器会导致大量的硒蒸汽无法蒸镀到太阳能基板上，从而降低硒的利用率，实际生产过程中，约有60％左右的硒，并未蒸镀在太阳能基板上，导致生产过程中的硒的巨大浪费，因此分配器的结构直接关系到硒的利用率。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的分配器结构不足，导致大量的硒蒸汽无法蒸镀在太阳能基板上，从而降低硒的利用率的缺陷，从而提供一种用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置及镀膜设备，提高硒蒸汽的利用率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，包括：

储气室，设有至少一个朝向太阳能基板延伸的引流管，在所述引流管远离所述储气室一端设有朝向所述太阳能基板喷射气体的开孔。

进一步，在所述引流管远离所述储气室的一端还设有用于连接若干所述引流管的喷射管，所述开孔间隔成型在所述喷射管上。

进一步，所述引流管与所述开孔对应设置。

进一步，在所述储气室、引流管以及喷射管的外壁上均设有加热单元。

进一步，在所述加热单元的外侧还设有外壳。

进一步，所述喷射管的轴向与所述引流管的轴向相互垂直设置。

进一步，所述储气室、引流管以及喷射管的材质均为钽。

还提供了一种用于太阳能薄膜电池制作的镀膜设备，包括腔室，所述腔室内部设置有所述的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置。

进一步，所述太阳能基板设置在腔室内部，太阳能基板设于所述开孔的上方，还包括用于将所述太阳能基板沿预定方向输送的传输装置。

进一步，所述储气室的进气口延伸至所述腔室的外部，蒸发源的出气口与储气室的进口连通。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，向喷射装置中通入硒蒸汽，在喷射装置中增设了引流管，通过开孔将硒蒸汽直接作用在太阳能基板上，引流管的设置缩短了硒蒸汽运动至太阳能基板的距离，使硒蒸汽最大程度作用在太阳能基板上，防止了由于开孔与太阳能基板之间的距离较远，硒蒸汽在运动到太阳能基板上的过程中可能发生偏离，从而造成硒蒸汽的浪费，同时提高了硒蒸汽在太阳能薄膜电池制作中的利用率，不需要短期内就向蒸发源补充硒原料，延长了蒸发源的使用周期。同时喷射装置喷射出去的硒蒸汽均匀，使得在太阳能基板上形成的薄膜厚度更均匀。