[实用新型]一种用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置及镀膜设备

权利要求书

1.一种用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，其特征在于，包括：

储气室(2)，设有至少一个朝向太阳能基板(9)延伸的引流管(3)，在所述引流管(3)远离所述储气室(2)一端设有朝向所述太阳能基板(9)喷射气体的开孔(5)。

2.根据权利要求1所述的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，其特征在于，在所述引流管(3)远离所述储气室(2)的一端还设有用于连接若干所述引流管(3)的喷射管(4)，所述开孔(5)间隔成型在所述喷射管(4)上。

3.根据权利要求2所述的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，其特征在于，所述引流管(3)与所述开孔(5)对应设置。

4.根据权利要求3所述的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，其特征在于，在所述储气室(2)、引流管(3)以及喷射管(4)的外壁上均设有加热单元(6)。

5.根据权利要求4所述的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，其特征在于，在所述加热单元(6)的外侧还设有外壳。

6.根据权利要求2所述的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，其特征在于，所述喷射管(4)的轴向与所述引流管(3)的轴向相互垂直设置。

7.根据权利要求2所述的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置，其特征在于，所述储气室(2)、引流管(3)以及喷射管(4)的材质均为钽。

8.一种用于太阳能薄膜电池制作的镀膜设备，其特征在于，包括腔室(7)，所述腔室(7)内部设置有如权利要求1-7任一项所述的用于太阳能薄膜电池制作的喷射装置。

9.根据权利要求8所述的用于太阳能薄膜电池制作的镀膜设备，其特征在于，所述太阳能基板(9)设置在腔室(7)内部，太阳能基板(9)设于所述开孔(5)的上方，还包括用于将所述太阳能基板(9)沿预定方向输送的传输装置(8)。

10.根据权利要求8所述的用于太阳能薄膜电池制作的镀膜设备，其特征在于，所述储气室(2)的进气口延伸至所述腔室(7)的外部，蒸发源(10)的出气口与储气室(2)的进口连通。