[实用新型]一种自适应步进扫描模块及其三维原子力显微镜有效
| 申请号： | 201822142235.0 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209387684U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王艳艳;贺思汉;边琰 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q10/00 |
| 代理公司： | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人： | 李薇 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 原子力显微镜 数据采集卡 步进扫描 智能反馈 位移台 自适应 六轴 探针驱动器 控制模块 通讯连接 控制器 三维 本实用新型 控制器通讯 侧壁 测量 驱动 | ||
1.面向三维原子力显微镜的自适应步进扫描模块，其特征在于，包括智能反馈控制器、六轴位移台、数据采集卡和控制模块，其中，所述原子力显微镜的探针驱动器受所述六轴位移台驱动以发生倾斜，所述探针驱动器与所述智能反馈控制器通讯连接，所述智能反馈控制器通过所述数据采集卡与所述控制模块通讯连接，所述数据采集卡与所述六轴位移台通讯连接。
2.如权利要求1所述的自适应步进扫描模块，其特征在于，所述六轴位移台为六轴六足位移台H840。
3.如权利要求1所述的自适应步进扫描模块，其特征在于，所述智能反馈控制器为DSP芯片。
4.如权利要求3所述的自适应步进扫描模块，其特征在于，所述DSP芯片通过外接模数转换芯片AD7725和数模转换芯片AD5542与所述探针驱动器相连接。
5.如权利要求4所述的自适应步进扫描模块，其特征在于，所述DSP芯片通过内置的多通道缓冲接口McBSP0的CLKR引脚、FSR引脚、DR0引脚分别与所述模数转换芯片AD7725的SCO引脚、FSO引脚、引脚SDO相连；
所述DSP芯片的CLKX引脚、FSX引脚、DX0引脚分别与所述数模转换芯片AD5542的SCLK引脚、REFS引脚、DIN引脚相连；
所述外接模数转换芯片AD7725和数模转换芯片AD5542的输出端连接所述探针驱动器的输入端。
6.如权利要求4所述的自适应步进扫描模块，其特征在于，所述数据采集卡是PXI-6366高速数据采集卡。
7.如权利要求6所述的自适应步进扫描模块，其特征在于，所述控制模块通过所述数据采集卡PXI-6366的第0通道引脚AI0与所述数模转换芯片AD5542的引脚Vout相连。
8.三维原子力显微镜，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所述的自适应步进扫描模块、探针驱动器、微悬臂梁、样品驱动器和横向控制器，其中，所述探针驱动器的底部固定有微悬臂梁，所述微悬臂梁上集成有探针，所述样品驱动器用于驱动样品在X轴、Y轴方向移动，所述样品驱动器与所述横向控制器通讯连接，所述横向控制器通过所述数据采集卡与所述控制模块通讯连接。
9.如权利要求8所述的三维原子力显微镜，其特征在于，所述探针驱动器为高刚性压电陶瓷促动器P-841.1。
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