[实用新型]溅射阳极罩和溅射装置有效
| 申请号： | 201822123930.2 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN209778982U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李仕军;高文波 | 申请（专利权）人： | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 44327 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 石仁 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却管 罩体 冷却装置 本实用新型 贴附 溅射装置 均匀性 热辐射 热源 镀膜 基材 溅射 温升 | ||
1.一种溅射阳极罩，其特征在于，包括：
罩体；以及
冷却装置，包括冷却管，所述冷却管贴附于所述罩体上。
2.如权利要求1所述的溅射阳极罩，其特征在于，所述罩体包括层叠设置的内罩和外罩，所述冷却装置夹设于所述内罩及所述外罩之间。
3.如权利要求1所述的溅射阳极罩，其特征在于，所述冷却管呈弯折设置。
4.如权利要求2所述的溅射阳极罩，其特征在于，所述冷却管包括多个水循环模块，多个所述水循环模块分布于所述罩体的溅射孔的周边。
5.如权利要求4所述的溅射阳极罩，其特征在于，所述外罩包括设有溅射孔的顶板及设于所述顶板相对两侧的侧板，所述侧板与所述顶板的内侧面均设有所述冷却管。
6.如权利要求5所述的溅射阳极罩，其特征在于，每一所述水循环模块包括侧冷却管、顶冷却管和连接所述侧冷却管和顶冷却管的连接管，所述侧冷却管贴附于所述侧板的内壁面，所述顶冷却管贴附于所述顶板的内壁面。
7.如权利要求2所述的溅射阳极罩，其特征在于，所述溅射阳极罩还包括管道压板，所述管道压板与所述外罩的内壁面固定连接，以将所述冷却管压紧固定在所述外罩的内壁面上。
8.如权利要求1至7中任意一项所述的溅射阳极罩，其特征在于，所述溅射阳极罩还包括法兰，所述冷却管的进水端及出水端穿设所述法兰的法兰孔，并与所述法兰焊接连接。
9.如权利要求2所述的溅射阳极罩，其特征在于，所述溅射阳极罩还包括挡板，所述挡板可拆卸的设于所述内罩的内表面，以部分遮挡罩体的溅射孔。
10.一种溅射装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的溅射阳极罩。
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