[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括炉体(10)及设于所述炉体(10)内的隔热笼(20)，所述隔热笼(20)的顶部与所述炉体(10)的顶部之间、所述隔热笼(20)的底部与所述炉体(10)的底部之间均通过支撑柱(30)连接，其中：

所述炉体(10)的底部铺设有至少两层第一石棉层(41)；

连接所述隔热笼(20)的底部与所述炉体(10)的底部的所述支撑柱(30)上包裹有第二石棉层(42)；

所述隔热笼(20)的四周包裹有第三石棉层(43)。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述第三石棉层(43)的厚度为所述炉体(10)内壁与所述隔热笼(20)之间的距离的1/5～1/3。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述第三石棉层(43)的高度小于或等于所述隔热笼(20)的高度。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述第一石棉层(41)的边缘延伸至所述炉体(10)的侧壁，且所述第一石棉层(41)的边缘低于所述第三石棉层(43)的底部边缘，或与所述第三石棉层(43)的底部边缘齐平。

5.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述第二石棉层(42)的高度小于或等于所述第一石棉层(41)的高度。

6.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述炉体(10)包括可拆卸连接的上炉体(11)和下炉体(12)。

7.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述隔热笼(20)内设有坩埚(50)，所述坩埚(50)底部设有DS块(60)，所述DS块(60)的底部设有保温结构。

8.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述保温结构包括设置在所述DS块(60)的底部两端的保温板(71)，且所述保温板(71)能够沿所述DS块(60)的底部移动。

9.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述坩埚(50)内设有加热器(80)。

10.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述炉体(10)的底部铺设有3～4层所述第一石棉层(41)。