[实用新型]一种抽真空装置及层压系统有效
申请号: | 201822087659.1 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN209298136U | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 徐俊成;张大鹏 | 申请(专利权)人: | 汉能移动能源控股集团有限公司 |
主分类号: | H01L31/048 | 分类号: | H01L31/048 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 朱静谦 |
地址: | 100107 北京市朝阳*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抽真空 连通 缓存器 腔室 抽真空设备 支路 抽真空装置 层压系统 第一端 本实用新型 波动影响 互相干扰 快速稳定 不一致 吸入端 | ||
本实用新型实施例提供的一种抽真空装置及层压系统,其中抽真空装置包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路,每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通,且每组所述支路包括真空缓存器;第一管路,其第一端与所述抽真空设备连通,第二端与所述真空缓存器连通;第二管路,其第一端与所述真空缓存器连通,第二端与待抽真空的所述腔室连通。真空缓存器内保持一定的真空度可降低抽真空过程中由于抽真空设备的电压、电流的波动影响,由于每组支路上均设有真空缓存器,并且每组支路的抽真空是相互独立的,不同的腔室真空度不一致时不会对其他腔室的抽真空动作造成波动,不同的腔室之间不会互相干扰,抽真空过程快速稳定,效率较高。
技术领域
本实用新型实施例涉及封装技术领域,具体涉及一种抽真空装置及层压系统。
背景技术
在太阳能电池组件封装工艺过程中,层压机属于核心工艺设备,层压机主要用于将多层物质(如背板、电池组件、防水胶膜等)按照一定的顺序压合在一起,压合完成的多层物质一般称之为组件。对于异形组件的层压过程,不可采用传统的对组件进行直接加压的方式来完成,因为该方式通常会将组件压碎。因此,异形组件通常的层压方法为:将需层压的异形组件放入一个密闭的腔室内,腔室的上下表面通常由硅胶板组成,硅胶板为软质材料。该密闭腔室同时配备真空抽气口,异形组件放置完毕后,对真空抽气口进行抽气。抽气后的上下硅胶板在大气环境之间的流路压作用下开始变形并贴合在异形组件上,而后在高温高压下完成异形组件的层压过程。因此,腔室的真空需求在层压过程中属于一个关键的技术,同时也需要配备相关的抽真空装置,以保证稳定的真空度。
对于抽真空装置,可用真空泵来完成,而若采用真空泵与真空抽气口直接相连通的话也会存在一些问题,比如真空泵由于受到电压、电流的波动,通常抽真空的过程中会存在一些波动,这种波动会对工艺过程造成一定的影响,同时,抽真空的速率也会受到一定的影响。
实用新型内容
因此,本实用新型实施例要解决的技术问题在于克服现有技术中的层压系统抽真空过程速率较慢及容易造成真空度波动的缺陷,从而提供一种抽真空过程快速稳定的抽真空装置及层压系统。
为解决上述技术问题,本实用新型实施例提供的一种抽真空装置,包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路,每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通,且每组所述支路包括
真空缓存器;
第一管路,其第一端与所述抽真空设备连通,第二端与所述真空缓存器连通;
第二管路,其第一端与所述真空缓存器连通,第二端与待抽真空的所述腔室连通。
所述第二管路上设有控制所述腔室与所述真空缓存器之间的流路导通或断开的第一开关阀。
所述第二管路上还设有控制所述腔室与大气环境之间的流路导通或断开的第二开关阀,且所述第一开关阀与第二开关阀互锁。
所述第一开关为两通电磁阀,所述第二开关阀为先导式电磁阀。
所述抽真空设备的吸入端连通有真空抽取管路,所述真空抽取管路上设有多个对接口,每个所述第一管路的第一端与相应的所述对接口连通。
所述第一管路包括第一柔性连通管,所述第一柔性连通管的第一端与所述对接口连通,第二端与所述真空缓存器的输入端连通。
所述第二管路包括真空输送管路,所述真空输送管路通过第二柔性连通管与所述真空缓存器的输出端连通。
所述第一柔性连通管、第二柔性连通管均为波纹管。
所述真空抽取管路上还设有预留连通口。
所述真空抽取管路和/或所述支路上还设有真空度监测表。
还包括支架,所述支架包括多层固定板,每层所述固定板对应设置一个所述真空缓存器。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的