[实用新型]一种抽真空装置及层压系统

权利要求书

1.一种抽真空装置，其特征在于，包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路，每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通，且每组所述支路包括

真空缓存器(1)；

第一管路，其第一端与所述抽真空设备连通，第二端与所述真空缓存器(1)连通；

第二管路，其第一端与所述真空缓存器(1)连通，第二端与待抽真空的所述腔室连通。

2.根据权利要求1所述的一种抽真空装置，其特征在于，所述第二管路上设有控制所述腔室与所述真空缓存器(1)之间的流路导通或断开的第一开关阀。

3.根据权利要求2所述的一种抽真空装置，其特征在于，所述第二管路上还设有控制所述腔室与大气环境之间的流路导通或断开的第二开关阀，且所述第一开关阀与第二开关阀互锁。

4.根据权利要求3所述的一种抽真空装置，其特征在于，所述第一开关为两通电磁阀(6)，所述第二开关阀为先导式电磁阀(7)。

5.根据权利要求1－4中任一项所述的一种抽真空装置，其特征在于，所述抽真空设备的吸入端连通有真空抽取管路(2)，所述真空抽取管路(2)上设有多个对接口(3)，每个所述第一管路的第一端与相应的所述对接口(3)连通。

6.根据权利要求5所述的一种抽真空装置，其特征在于，所述第一管路包括第一柔性连通管(51)，所述第一柔性连通管(51)的第一端与所述对接口(3)连通，第二端与所述真空缓存器(1)的输入端连通。

7.根据权利要求6所述的一种抽真空装置，其特征在于，所述第二管路包括真空输送管路(4)，所述真空输送管路(4)通过第二柔性连通管(52)与所述真空缓存器(1)的输出端连通。

8.根据权利要求5所述的一种抽真空装置，其特征在于，所述真空抽取管路(2)上还设有预留连通口(8)。

9.根据权利要求5所述的一种抽真空装置，其特征在于，所述真空抽取管路(2)和/或所述支路上还设有真空度监测表(9)。

10.根据权利要求1－4中任一项所述的一种抽真空装置，其特征在于，还包括支架(10)，所述支架(10)包括多层固定板(11)，每层所述固定板(11)对应设置一个所述真空缓存器(1)。

11.一种层压系统，其特征在于，包括权利要求1－10中任一项所述的一种抽真空装置，以及层压设备(13)，所述层压设备(13)包括多个层压腔室(14)，待抽真空的所述腔室为所述层压腔室(14)，每个所述层压腔室(14)设有真空对接口(15)，所述第二管路的第二端与所述真空对接口(15)连通。