[实用新型]检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置

说明书

本实用新型公开了检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其包括抽真空装置和腔体，抽真空装置与腔体相连通，所述腔体包括基板、阀头定位板、阀尾定位板、活动压紧装置、进气法兰管、出气法兰管和待测阀门，进气法兰和出气法兰分别安装在阀体两端，待测阀门端面有已加工成型的标准法兰接口，待测阀门与进气法兰管、出气法兰管之间的连接通过密封圈密封，阀头定位板和阀尾定位板安装在底板上，待测阀体通过阀头和阀尾定位板定位。本实用新型能够为待测阀门提供一个真空环境，使得待测阀门更加接近其实际的工作环境，以便获得准确的粒子脱落数量数据。

技术领域

本实用新型涉及一种阀门的检测系统，尤其涉及一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置。

背景技术

在半导体和光伏组件的制造过程中，需要用到真空阀门。由于半导体以及光伏组件的制造的过程中对真空阀门的要求非常高，除了一些常规的要求（如尺寸、密封、抗冲击等）外，对真空阀门在工作过程中的粒子脱落量也有一定的要求，如果粒子脱落量较多，就会影响到整个半导体以及光伏组件的质量。因此，需要对真空阀门进行粒子脱落量进行检测，而目前却没有对真空阀门进行粒子脱落量检测的现有技术。由于不存在相关检测现有技术，对真空阀门制造方来讲，无法知道自己生产的真空阀门的粒子脱落量数据，无法向购买方保证自己生产的真空阀门的质量；而对真空阀门的购买方来说，在购买时，并不知道真空阀门在粒子脱落量方面的检测数据，不知道孰优孰劣，无从选择。如果购买方买到不符合要求的真空阀，应用到半导体和光伏组件生产中，可能影响到半导体和光伏组件的质量。因此，开发出一种检测真空阀门粒子脱落量的系统显得尤为重要，以便双方能够准确了解到真空阀门的粒子脱落量数据，解决了由于真空阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。由于阀门实际工作的过程是在真空状态中的，因此要检测阀门粒子脱落数量的话，首先就必须给待测阀门提供一种真空环境，因此开发出适用于待测阀门的真空装置是开发出检测真空阀门粒子脱落量的系统的基础，十分重要。

实用新型内容

本实用新型的目的就是提供一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，通过该真空装置，能够为待测阀门提供一个真空环境，使得待测阀门更加接近其实际的工作环境，以便获得准确的粒子脱落数量数据。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：包括抽真空装置和腔体，所述腔体包括基板、阀头定位板、阀尾定位板、活动压紧装置、进气法兰管、出气法兰管、进气转接法兰、出气转接法兰和待测阀门，进气法兰管和出气法兰管分别安装在待测阀门两端，待测阀门与进气法兰管以及与出气法兰管之间密封连接，阀头定位板和阀尾定位板安装在基板上，待测阀门卡在阀头定位板和阀尾定位板内，通过阀头定位板和阀尾定位板的作用，能够防止待测阀门左右和前后晃动，所述活动压紧装置安装在基板上，待测阀门卡在活动压紧装置内，通过活动压紧装置能够防止待测阀门上下晃动，所述进气法兰管和出气法兰管为变径法兰管，变径法兰管为圆锥形，可以有效避免吹气时脱落粒子滞留在真空腔体内表面，使得到的试验结果更准确，所述进气法兰管的大端连接在待测阀门上，小端与进气转接法兰相连，所述出气法兰管的大端连接在待测阀门上，小端与出气转接法兰相连，所述进气法兰管、出气法兰管、进气转接法兰、出气转接法兰和待测阀门中空，所述抽真空装置与出气转接法兰相连通，或者与进气转接法兰相连通。

所述阀头定位板包括L形限位板，L形限位板设置有凸起，待测阀门设置有凹槽，待测阀门装配在阀头定位板中后，凸起伸入到凹槽内，L形限位板安装在基板上。

所述阀尾定位板包括一块平板和一块槽形板，槽形板垂直连接平板上，平板在安装在基板上，槽形板的两侧安装有紧固螺栓，待测阀门安装在槽形板中，通过紧固螺栓进行紧固定位，防止前后上下晃动。

所述活动压紧装置包括限位板、限位螺杆和限位螺母，限位螺杆一端安装在基板上，限位板套接在限位螺杆上，限位螺母套接在限位螺杆上，限位板位于限位螺母下方，待测阀门位于限位板下方。