[实用新型]检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置

权利要求书

1.检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：包括抽真空装置和腔体，抽真空装置与腔体相连通，所述腔体包括基板、阀头定位板、阀尾定位板、进气法兰管、出气法兰管和待测阀门，进气法兰管和出气法兰管分别安装在待测阀门两端，待测阀门与进气法兰管之间密封连接，待测阀门与出气法兰管之间密封连接，阀头定位板和阀尾定位板安装在基板上，待测阀门卡在阀头定位板和阀尾定位板内。

2.根据权利要求1所述的检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：所述进气法兰管和出气法兰管为变径法兰管，所述进气法兰管的大端连接在待测阀门上，所述出气法兰管的大端连接在待测阀门上。

3.根据权利要求1所述的检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：所述进气法兰管的小端连接有进气转接法兰，所述出气法兰管的小端连接有出气转接法兰。

4.根据权利要求1所述的检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：所述抽真空装置与出气转接法兰相连通，或者与进气转接法兰相连通。

5.根据权利要求1所述的检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：所述基板上还安装有活动压紧装置，待测阀门卡在活动压紧装置内。

6.根据权利要求5所述的检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：所述活动压紧装置包括限位板、限位螺杆和限位螺母，限位螺杆一端安装在基板上，限位板套接在限位螺杆上，限位螺母套接在限位螺杆上，限位板位于限位螺母下方，待测阀门位于限位板下方。

7.根据权利要求1所述的检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：所述阀头定位板包括L形限位板，L形限位板设置有凸起，待测阀门设置有凹槽，待测阀门装配在阀头定位板中后，凸起伸入到凹槽内，L形限位板安装在基板上。

8.根据权利要求1所述的检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：所述阀尾定位板包括一块平板和一块槽形板，槽形板垂直连接平板上，平板在安装在基板上，槽形板的两侧安装有紧固螺栓，待测阀门安装在槽形板中。

9.根据权利要求1所述的检测阀门工作过程中粒子脱落数量时用到的真空装置，其特征在于：所述抽真空装置包括真空分子泵和真空干泵，真空分子泵和真空干泵通过管路连接在出气转接法兰或者进气转接法兰上。