[实用新型]一种硬密封的高纯气体减压阀

说明书

本实用新型公开一种硬密封的高纯气体减压阀，包括下阀体，所述下阀体上通过螺纹连接有后盖，所述后盖与所述下阀体之间设置有上阀体，所述上阀体顶部通过压块与所述后盖紧密连接，所述上阀体底部通过金属O型环和金属C型环与所述下阀体紧密连接；所述上阀体顶部设置有膜片，所述膜片连接有调压弹簧，所述调压弹簧一端与穿设于所述后盖上的顶丝连接；所述下阀体内设置有阀针，所述阀针一端与所述膜片底部接触，另一端通过小弹簧与所述下阀体连接。本实用新型提供的硬密封的高纯气体减压阀，密封面弹性好，密封精度高。

技术领域

本实用新型涉及减压阀密封技术领域，特别是涉及一种硬密封的高纯气体减压阀。

背景技术

高纯气体减压阀应用于高纯气体管路及高纯气体设备，高纯气体阀门的密封是阀门设计与应用中的关键技术。阀门密封通常分为软密封和硬密封两大类，硬密封采用金属对金属的密封方式，由于主要应用于高纯、高压的情况，对密封副金属的表面粗糙度、耐腐蚀性、硬度等性能要求严格，但由于金属的挠性和弹性较差，对密封面的加工精度要求高，加工成本高。金属对金属密封属于一种强制密封，需要的操作力较大，而且需要锁紧装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硬密封的高纯气体减压阀，以解决上述现有技术存在的问题，使密封面弹性好，密封精度高。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种硬密封的高纯气体减压阀，包括下阀体，所述下阀体上通过螺纹连接有后盖，所述后盖与所述下阀体之间设置有上阀体，所述上阀体顶部通过压块与所述后盖紧密连接，所述上阀体底部通过金属O型环和金属C型环与所述下阀体紧密连接；所述上阀体顶部设置有膜片，所述膜片连接有调压弹簧，所述调压弹簧一端与穿设于所述后盖上的顶丝连接；所述下阀体内设置有阀针，所述阀针一端与所述膜片底部接触，另一端通过小弹簧与所述下阀体连接。

可选的，所述后盖包括前部、后部和连接部，所述前部的内径大于所述后部的内径，所述前部的外径大于所述后部的外径，所述前部与所述后部通过水平的连接部固定连接；所述前部通过螺纹与所述下阀体密封连接。

可选的，所述前部、后部和连接部一体成型。

可选的，所述前部与所述连接部垂直连接，所述后部与所述连接部垂直连接。

可选的，所述压块位于所述前部内，且与所述连接部内壁紧密连接。

可选的，所述调压弹簧位于所述后部内，所述顶丝穿设于所述后部底部，并与所述调压弹簧连接。

可选的，所述顶丝一端连接有手柄，所述手柄套设于所述后部的外壁上。

可选的，所述阀针一端与所述膜片底部接触，另一端与小弹簧接触，小弹簧与所述下阀体连接，阀针与上阀体接触处设置有密封垫。

可选的，所述调压弹簧与所述顶丝连接处设置有连接块。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

本实用新型提供的硬密封的高纯气体减压阀组装更加简易；金属环密封结构具有补偿性，在一定范围内能够补偿零件的加工误差，有更好的密封性，可以得到更低的泄漏率；金属环密封结构有良好的重复性；金属密封圈的密封性较好，耐腐蚀性好，且长期使用不易老化。减压阀内部结构更加简单，有利于零件加工和电解抛光，更容易得到高纯气体所需要的电解抛光面，内部结构更加紧凑，可以实现更小的死体积。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。