[实用新型]一种硬密封的高纯气体减压阀

权利要求书

1.一种硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：包括下阀体，所述下阀体上通过螺纹连接有后盖，所述后盖与所述下阀体之间设置有上阀体，所述上阀体顶部通过压块与所述后盖紧密连接，所述上阀体底部通过金属O型环和金属C型环与所述下阀体紧密连接；所述上阀体顶部设置有膜片，所述膜片连接有调压弹簧，所述调压弹簧一端与穿设于所述后盖上的顶丝连接；所述下阀体内设置有阀针，所述阀针一端与所述膜片底部接触，另一端通过小弹簧与所述下阀体连接。

2.根据权利要求1所述的硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：所述后盖包括前部、后部和连接部，所述前部的内径大于所述后部的内径，所述前部的外径大于所述后部的外径，所述前部与所述后部通过水平的连接部固定连接；所述前部通过螺纹与所述下阀体密封连接。

3.根据权利要求2所述的硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：所述前部、后部和连接部一体成型。

4.根据权利要求2所述的硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：所述前部与所述连接部垂直连接，所述后部与所述连接部垂直连接。

5.根据权利要求4所述的硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：所述压块位于所述前部内，且与所述连接部内壁紧密连接。

6.根据权利要求4所述的硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：所述调压弹簧位于所述后部内，所述顶丝穿设于所述后部底部，并与所述调压弹簧连接。

7.根据权利要求6所述的硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：所述顶丝一端连接有手柄，所述手柄套设于所述后部的外壁上。

8.根据权利要求1所述的硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：所述阀针一端与所述膜片底部接触，另一端与小弹簧接触，小弹簧与所述下阀体连接，阀针与上阀体接触处设置有密封垫。

9.根据权利要求1所述的硬密封的高纯气体减压阀，其特征在于：所述调压弹簧与所述顶丝连接处设置有连接块。