[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201822058792.4 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209522899U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 丁熙荣 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对位标识 蒸镀基板 掩模版 蒸镀腔室 蒸镀设备 光调节 对位 本实用新型 传播方向 镀膜工艺 发射光线 所在区域 图像采集 非透明 基板 光源 照射 观察 | ||
1.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、以及位于所述蒸镀腔室外部的图像采集结构；所述图像采集结构包括用于向所述蒸镀腔室发射光线的光源、以及图像接收单元；其特征在于，所述蒸镀设备还包括：位于所述蒸镀腔室内部且可移动的光调节结构；
所述光调节结构，靠近掩模版远离待蒸镀基板的一侧表面设置，用于调节所述光源发射出的光线的传播方向以照射至所述掩模版的对位标识所在区域，以及调节从所述掩模版的对位标识所在区域反射出的光线的传播方向以入射至所述图像接收单元；
其中，所述待蒸镀基板为非透明基板。
2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述光调节结构包括至少一个棱镜；
或，所述光调节结构包括至少一个平面镜。
3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述光调节结构设置有多个；
所述图像采集结构设置有至少一个。
4.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述图像采集结构设置有多个；
所述图像采集结构与所述光调节结构的设置数量相等。
5.如权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述图像采集结构与所述光调节结构的设置数量均为2至6个。
6.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述图像采集结构设置有一个；
所述图像采集结构可移动。
7.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括蒸发源，所述光调节结构位于所述掩模版与所述蒸发源之间；
所述光调节结构包括保护壳，所述保护壳设置在所述光调节结构靠近所述蒸发源的一侧。
8.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：位于所述蒸镀腔室内部的移动控制结构和移动结构；
所述移动结构的一端与所述移动控制结构连接，另一端与所述光调节结构连接，用于在所述移动控制结构的控制下，控制所述光调节结构的移动距离和移动方向。
9.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述图像采集结构设置于所述蒸镀腔室外部且靠近所述待蒸镀基板的一侧。
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