[实用新型]石墨舟有效

申请号：	201822057004.X	申请日：	2018-12-07
公开（公告）号：	CN208923068U	公开（公告）日：	2019-05-31
发明（设计）人：	李兵;陈瑶;陈海燕;刘运宇	申请（专利权）人：	苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673;H01L31/18
代理公司：	苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235	代理人：	孙凤
地址：	215000 江***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	石墨舟片石墨舟硅片镀膜背面本实用新型方向间隔等离子体管式PECVD镀膜上下方向延伸固定硅片硅片镀膜有效减少擦伤固定件无遮挡产能翻片沉积垂直
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【权利要求书】：

1.一种石墨舟，用于管式PECVD镀膜，其特征在于：所述石墨舟包括至少两个沿第一方向间隔设置的石墨舟片组，每一所述石墨舟片组包括多个沿第二方向间隔设置且沿上下方向延伸的石墨舟片，所述第一方向与所述第二方向相垂直，相邻的石墨舟片组中的石墨舟片一一对应；沿所述第一方向相邻的两个所述石墨舟片上相对的一侧设有用以固定硅片的固定件。

2.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：每一所述石墨舟片组上相邻的石墨舟片连接不同的电极。

3.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：每一所述石墨舟片组还包括沿所述第二方向延伸的固定杆，该石墨舟片组上的石墨舟片活动连接于所述固定杆上以沿所述固定杆移动。

4.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：沿所述第一方向相邻的两个石墨舟片组之间的距离为157mm-165mm。

5.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：每一所述石墨舟片组中的相邻的石墨舟片之间的距离为5mm-20mm。

6.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：所述固定件为沿上下方向间隔设置的上卡槽以及下卡槽。

7.如权利要求6所述的石墨舟，其特征在于：所述上卡槽包括沿所述第二方向间隔设置的两个上卡片，两个所述上卡片之间的距离为0.2mm-0.4mm。

8.如权利要求6所述的石墨舟，其特征在于：所述下卡槽包括沿所述第二方向间隔设置的两个下卡片以及连接两个所述下卡片的下端的连接片。

9.如权利要求6所述的石墨舟，其特征在于：所述下卡槽的截面呈半圆形、矩形、或梯形。

10.如权利要求8所述的石墨舟，其特征在于：两个所述下卡片之间的距离为0.2mm-0.4mm。

11.如权利要求6所述的石墨舟，其特征在于：所述下卡槽的高度为0.5mm-10mm。

12.如权利要求6所述的石墨舟，其特征在于：所述上卡槽以及所述下卡槽突伸出设置该上卡槽和下卡槽的石墨舟片的距离为1mm-10mm。

13.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片的高度为160mm-300mm。