[实用新型]晶圆传送装置

说明书

该实用新型涉及一种晶圆传送装置，包括：传送机器人，用于传送晶圆；机械手臂，安装至传送机器人，能够跟随传送机器人运动，用于放置晶圆；移动平台，安装至传送机器人，能够跟随传送机器人运动，且移动平台包括电动机；机械手臂连接至电动机的输出轴，由电动机的输出轴的输出量来调整机械手臂的位置，从而调整晶圆的位置。本实用新型的晶圆传送装置具有移动平台，通过移动平台的电动机的输出轴，可以控制放置晶圆的机械手臂的位置，从而调整晶圆的位置，使得在使用晶圆传送装置进行晶圆传送时，能够在晶圆位置出现偏差时及时对晶圆位置进行调整，从而防止晶圆毁损，提高晶圆生产的良率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产领域，具体涉及一种晶圆传送装置。

背景技术

在半导体工艺技术中，晶圆在不同腔体之间的传送十分重要。

例如，化学气相沉积(CVD，Chemical Vapor Deposition)工艺作为主要的介质层成膜技术，是半导体技术中一个很重要的模块，在先进工艺中的应用也越来越广泛。而在进行化学气相沉积的过程中，需要将晶圆从FOUP(Front opening unified pod，前开式晶圆传送盒)传送到反应腔室(Chamber)内，以在反应腔室内完成化学气相沉积，再将完成化学气相沉积的晶圆传送回FOUP。在传送晶圆的过程中，晶圆在缓冲腔(Buffer chamber)、预真空腔(Load Lock)，和FOUP之间被传送，很有可能会发生位置的偏移。

现有技术中，一旦晶圆在传送过程中出现位置的偏移，设置在缓冲腔内的监控模块就会发出警报，并控制传送机器人停止传送晶圆。此时，被传送的晶圆无法被传送回FOUP。然而由于缓冲腔为真空腔，若打开缓冲腔将无法被传送回FOUP的晶圆取出，则很有可能会造成晶圆的报废，影响晶圆生产的良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆传送装置，能够调节被传送的晶圆的位置偏移，防止晶圆在传送过程中发生毁损，提高晶圆生产的良率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆传送装置，包括：传送机器人，用于传送晶圆；机械手臂，安装至所述传送机器人，能够跟随所述传送机器人运动，用于放置晶圆；移动平台，安装至所述传送机器人，能够跟随所述传送机器人运动，且所述移动平台包括电动机；所述机械手臂连接至所述电动机的输出轴，由所述电动机的输出轴的输出量来调整所述机械手臂的位置，从而调整晶圆的位置。

可选的，所述电动机包括：Y方向电动机，所述Y方向电动机的输出轴的长度方向与笛卡尔坐标系的Y轴方向平行，用于控制所述机械手臂在Y轴方向上的位置；X方向电动机，所述X方向电动机的输出轴的长度方向与笛卡尔坐标系的X轴方向平行，且所述X方向电动机连接所述Y方向电动机的输出轴，能够跟随所述Y方向电动机的输出轴的输出量运动；所述机械手臂连接所述X方向电动机的输出轴。

可选的，所述Y方向电动机的Y方向输出轴连接至所述X方向电动机，使所述X方向电动机的位置跟随所述Y方向输出轴的输出量的变化而变化。

可选的，所述机械手臂连接至X方向电动机的X方向输出轴。

可选的，还包括：回位传感器，安装于所述传送机器人，用于检测所述机械手臂的位置。

可选的，所述回位传感器包括：X方向回位传感器，用于检测所述机械手臂在笛卡尔直角坐标系的X轴方向上的位置；Y方向回位传感器，用于检测所述机械手臂在笛卡尔直角坐标系的Y轴方向上的位置。

可选的，还包括控制器，分别连接至所述移动平台与所述回位传感器，用于控制所述移动平台调整机械手臂的位置。

可选的，所述机械手臂包括两个，分别设置在所述传送机器人的两侧，以同时传送两片晶圆；所述移动平台也包括两组，分别设置在所述传送机器人的两侧，对设置在所述传送机器人的两侧的机械手臂的位置分别进行控制。