[实用新型]晶圆传送装置有效
| 申请号： | 201822046385.1 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN208954960U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 林立;吴孝哲;林宗贤;吴龙江;胡广严 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 传送机器人 机械手臂 移动平台 电动机 晶圆传送装置 输出轴 晶圆位置 传送 本实用新型 传送装置 输出量 毁损 良率 种晶 生产 | ||
1.一种晶圆传送装置，其特征在于，包括：
传送机器人，用于传送晶圆；
机械手臂，安装至所述传送机器人，能够跟随所述传送机器人运动，用于放置晶圆；
移动平台，安装至所述传送机器人，能够跟随所述传送机器人运动；
所述移动平台包括电动机，所述机械手臂连接至所述电动机的输出轴，由所述电动机的输出轴的输出量来调整所述机械手臂的位置，从而调整晶圆的位置。
2.根据权利要求1所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述电动机包括：
Y方向电动机，所述Y方向电动机的输出轴的长度方向与笛卡尔坐标系的Y轴方向平行，用于控制所述机械手臂在Y轴方向上的位置；
X方向电动机，所述X方向电动机的输出轴的长度方向与笛卡尔坐标系的X轴方向平行，且所述X方向电动机连接所述Y方向电动机的输出轴，能够跟随所述Y方向电动机的输出轴的输出量运动；
所述机械手臂连接所述X方向电动机的输出轴。
3.根据权利要求1所述的晶圆传送装置，其特征在于，还包括：
回位传感器，安装于所述传送机器人，用于检测所述机械手臂的位置。
4.根据权利要求3所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述回位传感器包括：
X方向回位传感器，用于检测所述机械手臂在笛卡尔直角坐标系的X轴方向上的位置；
Y方向回位传感器，用于检测所述机械手臂在笛卡尔直角坐标系的Y轴方向上的位置。
5.根据权利要求3所述的晶圆传送装置，其特征在于，还包括控制器，分别连接至所述移动平台与所述回位传感器，用于控制所述移动平台调整机械手臂的位置。
6.根据权利要求1所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述机械手臂包括两个，分别设置在所述传送机器人的两侧，以同时传送两片晶圆；
所述移动平台也包括两组，分别设置在所述传送机器人的两侧，对设置在所述传送机器人的两侧的机械手臂的位置分别进行控制。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
