[实用新型]气体前处理装置及回收氢气检测装置

说明书

本实用新型涉及气体分离净化设备技术领域，尤其是涉及一种气体前处理装置及回收氢气检测装置。其包括壳体、第一端盖和第二端盖，壳体的内部设置有用于吸附氯化氢和氯硅烷的吸附介质，壳体的一端与第一端盖连接，壳体的另一端与第二端盖连接，第一端盖设置有进口，进口设置有进气阀，第二端盖设置有出口，出口用于与气相色谱仪的进样口连通，出口设置有出气阀；第一端盖设置有置换气进气管，置换气进气管设置有置换气进口阀，第二端盖设置有置换气出气管，置换气出气管设置有置换气出口阀。本实用新型能够保证色谱柱有效，气路管线畅通，提高了安全性。同时，保证在进样过程中不引入杂质组分，从而保证检测结果的准确性。

技术领域

本实用新型涉及气体分离净化设备技术领域，尤其是涉及一种气体前处理装置及回收氢气检测装置。

背景技术

随着太阳能产业的飞速发展，全球对多晶硅的需求日益增长，国内外大型多晶硅生产厂家不断改进生产工艺扩大产能，并采取优化工艺参数、降低能耗，降低成本，最大可能回收尾气中可利用成分。

改良西门子多晶硅生产过程中，三氯氢硅合成、高温氢化和多晶硅还原等工序均有大量尾气产生，尾气中主要成分有H₂、HCl、SiHCl₃、SiH₂Cl₂和SiCl₄，主要成分H₂采用干法回收技术，通过加压冷凝、气液分离、吸收、吸附等技术将以上组分分离回收，回收后的氢气返回系统使用。为了确保工艺参数运行正常，在生产过程中需不定时的监控回收的各组分含量，尤其是用量较大的氢气，目前氢气纯度的检测方法采用的是用热导检测器，分子筛色谱柱进行检测分析，但在检测过程中，当样品含有未吸收完全的氯化氢和氯硅烷时，会导致色谱柱中毒失效或造成气路管线堵塞无法进样的情况。同时，回收的氢气需要到达一定的标准(例如回收氢气中的氮气和氧气含量需要分别在一定浓度以下)才能够返回系统使用，如果在进样过程中，引入杂质组分，不仅影响检测准确度，同时也存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提供一种气体前处理装置，以解决现有技术中存在的影响检测准确度，带来安全隐患的技术问题。

本实用新型的第二目的在于提供一种，以解决现有技术中存在的影响检测准确度，带来安全隐患的技术问题。

基于上述第一目的，本实用新型提供了一种气体前处理装置，包括壳体、第一端盖和第二端盖，所述壳体的内部设置有用于吸附氯化氢和氯硅烷的吸附介质，所述壳体的一端与所述第一端盖连接，所述壳体的另一端与所述第二端盖连接，所述第一端盖设置有进口，所述进口设置有进气阀，所述第二端盖设置有出口，所述出口用于与气相色谱仪的进样口连通，所述出口设置有出气阀；所述第一端盖设置有置换气进气管，所述置换气进气管设置有置换气进口阀，所述第二端盖设置有置换气出气管，所述置换气出气管设置有置换气出口阀。

进一步地，在某些实施例中，还包括抽气泵，所述抽气泵的进气端与所述出口连通。

进一步地，在某些实施例中，还包括气体进口管和气体出口管，所述气体进口管与所述进口连通，所述气体出口管与所述出口连通。

进一步地，在某些实施例中，所述壳体为透明管状结构。

进一步地，在某些实施例中，所述壳体的一端与所述第一端盖螺纹连接，所述壳体的另一端与所述第二端盖螺纹连接。

进一步地，在某些实施例中，所述置换气进气管的材质和所述置换气出气管的材质均为四氟。

进一步地，在某些实施例中，所述第一端盖的材质和所述第二端盖的材质均为四氟。

进一步地，在某些实施例中，所述吸附介质包括第一吸附剂层、第二吸附剂层和第三吸附剂层，所述第一吸附剂层位于所述进口处，所述第三吸附剂层位于所述出口处，所述第二吸附剂层位于所述第一吸附剂层与所述第三吸附剂层之间。