[实用新型]真空电子束连续镀膜装置有效
| 申请号： | 201822038643.1 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN209144247U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 邹宇;赖奇;廖先杰;刘翘楚;肖传海;彭富昌;钟璨宇;李俊瀚;江思媛;范立男 | 申请（专利权）人： | 攀枝花学院;成都天宇坤实机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 许泽伟 |
| 地址： | 617000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束炉 金属带卷 开卷机 收卷机 本实用新型 镀膜 连续镀膜装置 真空电子束 工作腔 流水线生产 生产成本低 连续镀膜 出口端 电子枪 进口端 开卷 收卷 送入 配合 | ||
1.真空电子束连续镀膜装置，其特征在于：包括电子束炉(1)、开卷机(2)和收卷机(3)，所述开卷机(2)设置在电子束炉(1)的进口端一侧，收卷机(3)设置在电子束炉(1)的出口端一侧；所述电子束炉(1)由至少一个工作腔(11)组成，每个工作腔(11)内设有至少一把电子枪(12)。
2.如权利要求1所述的真空电子束连续镀膜装置，其特征在于：所述电子束炉(1)由1～3个连通的工作腔(11)组成，每个工作腔(11)内设有1～2把电子枪(12)。
3.如权利要求1或2所述的真空电子束连续镀膜装置，其特征在于：还包括连通在电子束炉(1)进口端的前置真空室(4)和连通在电子束炉(1)出口端的后置真空室(5)，所述前置真空室(4)由至少两个连通的前置真空腔(41)组成，所述后置真空室(5)由至少两个连通的后置真空腔(51)组成，所述前置真空腔(41)与后置真空腔(51)内都设有平板真空装置。
4.如权利要求3所述的真空电子束连续镀膜装置，其特征在于：所述前置真空室(4)由2～8个连通的前置真空腔(41)组成，所述后置真空室(5)由2～8个连通的后置真空腔(51)组成。
5.如权利要求3所述的真空电子束连续镀膜装置，其特征在于：还包括加热真空室(6)与冷却真空室(7)，所述加热真空室(6)连通在电子束炉(1)与前置真空室(4)之间，所述冷却真空室(7)连通在电子束炉(1)与后置真空室(5)之间；所述加热真空室(6)由至少一个加热真空腔(61)组成，所述冷却真空室(7)由至少两个冷却真空腔(71)组成；所述加热真空腔(61)内设有平板真空加热装置，所述冷却真空腔(71)内设有平板真空冷却装置。
6.如权利要求5所述的真空电子束连续镀膜装置，其特征在于：所述加热真空室(6)由1～4个连通的加热真空腔(61)组成，所述冷却真空室(7)由2～4个连通的冷却真空腔(71)组成。
7.如权利要求3所述的真空电子束连续镀膜装置，其特征在于：还包括设置在前置真空室(4)与开卷机(2)之间的前置矫直机(8)与设置在后置真空室(5)与收卷机(3)之间的后置矫直机(9)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于攀枝花学院;成都天宇坤实机电设备有限公司，未经攀枝花学院;成都天宇坤实机电设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822038643.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：真空电子束对辊镀膜装置
- 下一篇：旋转阴极和真空磁控溅射镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
