[实用新型]一种单晶炉

说明书

本实用新型提供了一种单晶炉，包括本体，单晶炉还包括导气筒和护底压板；导气筒靠近所述护底压板的一端周向侧壁上设置有至少一个第一凸起部；所述护底压板上设置有至少一个用于装配所述导气筒的装配孔，所述装配孔内侧壁上设置有至少一个卡槽，所述第一凸起部可设置于所述卡槽内，使所述导气筒与所述护底压板连接并固定。本实用新型将导气筒与护底压板的连接关系进行限制，减少两相滑动的可能性，预防了单晶炉反冲气流将导气筒顶起，并使其与加热器接触的可能，从而减少了打火现象的发生，保护了导气筒的表面，减少受损面积以及修复、更换的次数。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒制造领域，特别是涉及一种单晶炉。

背景技术

单晶硅棒生产流程为拉晶、机加以及抛光工序。拉晶时，单晶炉的热场部件的导气筒需要装入单晶炉。目前，在单晶炉中投入使用的导气筒与护底压板的装配关系不存在限制作用。因此，在拉晶过程中，导气筒很容易被返冲气流吹起，并触到单晶炉底部的加热器，导致两者打火，造成加热器下表面与导气筒上表面出现凹坑或者麻点，严重时，还会造成单晶炉底部的加热器断裂。

实用新型内容

为了解决前述技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉。

本实用新型提供的一种单晶炉，包括本体，单晶炉还包括导气筒和护底压板；导气筒靠近护底压板的一端周向侧壁上设置有至少一个第一凸起部；护底压板上设置有至少一个用于装配导气筒的装配孔，装配孔内侧壁上设置有至少一个卡槽，第一凸起部可设置于卡槽内，使导气筒与护底压板连接并固定。

优选地，导气筒上设置有若干第一凸起部。

优选地，若干第一凸起部与导气筒的端面成平行设置。

优选地，若干第一凸起部与导气筒的同一端面具有同一平面。

优选地，卡槽为设置于装配孔内侧壁上的凹槽。

优选地，卡槽包括至少一个第二凸起部和至少一个第三凸起部，且至少一个第二凸起部与至少一个第三凸起部之间具有空间，用于容纳至少一个第一凸起部。

优选地，卡槽距离护底压板两端的距离相同。

优选地，至少一个卡槽的一端还设置有限位凸台。

优选地，卡槽与第一凸起部的数量相等。

优选地，卡槽之间的间距与第一凸起部之间的间距相同，且卡槽的长度与第一凸起部的长度相同。

综上，本实用新型所述单晶炉，通过在导气筒的周向侧壁设置第一凸起部，在护底压板的装配孔内设置卡槽，第一凸起部可设置于卡槽内，从而将导气筒与护底压板的连接关系进行限制，减少两相滑动的可能性，预防了单晶炉反冲气流将导气筒顶起，从而导致其与加热器接触的可能，从而预防了打火现象的发生，保护了导气筒的表面，减少受损面积以及修复、更换的次数。

附图说明

图1是本实用新型的一个实施例的单晶炉的导气筒结构示意图；

图2是本实用新型的一个实施例的单晶炉的护底压板结构示意图；

图3是图2中装配孔结构放大图。

其中，1为导气筒，2为第一凸起部，3为护底压板，4为装配孔，5为卡槽，6为第二凸起部，7为限位凸台，8为第三凸起部。

具体实施方式

下面结合附图说明根据本实用新型的具体实施方式。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开的具体实施例的限制。