[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 201822025382.X | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN209024676U | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 沈烨 | 申请(专利权)人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 678014 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 导气筒 底压板 单晶炉 本实用新型 凸起部 装配孔 卡槽 加热器接触 打火现象 连接关系 周向侧壁 内侧壁 滑动 反冲 两相 装配 受损 修复 预防 | ||
1.一种单晶炉,包括:本体,其特征在于,所述单晶炉还包括:导气筒和护底压板;
所述导气筒靠近所述护底压板的一端周向侧壁上设置有至少一个第一凸起部;
所述护底压板上设置有至少一个用于装配所述导气筒的装配孔,所述装配孔内侧壁上设置有至少一个卡槽,所述第一凸起部可设置于所述卡槽内,使所述导气筒与所述护底压板连接并固定。
2.根据权利要求1所述单晶炉,其特征在于,所述导气筒上设置有若干所述第一凸起部。
3.根据权利要求2所述单晶炉,其特征在于,若干所述第一凸起部与所述导气筒的端面成平行设置。
4.根据权利要求2或3所述单晶炉,其特征在于,若干所述第一凸起部与所述导气筒的同一端面具有同一平面。
5.根据权利要求1所述单晶炉,其特征在于,所述卡槽为设置于所述装配孔内侧壁上的凹槽。
6.根据权利要求1所述单晶炉,其特征在于,所述卡槽包括至少一个第二凸起部和至少一个第三凸起部,且至少一个所述第二凸起部与至少一个所述第三凸起部之间具有空间,用于容纳至少一个所述第一凸起部。
7.根据权利要求1所述单晶炉,其特征在于,所述卡槽距离所述护底压板两端面的距离相同。
8.根据权利要求1所述单晶炉,其特征在于,至少一个所述卡槽的一端还设置有限位凸台。
9.根据权利要求1所述单晶炉,其特征在于,所述卡槽的数量与所述第一凸起部的数量相等。
10.根据权利要求1所述单晶炉,其特征在于,所述卡槽之间的间距与所述第一凸起部之间的间距相同,且所述卡槽的长度与所述第一凸起部的长度相同。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于保山隆基硅材料有限公司,未经保山隆基硅材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822025382.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种单晶炉副室炉筒清理工具
- 下一篇:一种单晶炉加热器