[实用新型]真空装置

说明书

本实用新型提供一种在打开真空容器的盖部后能够安全地保持盖部的打开状态的真空装置。该真空装置包括：真空容器；盖部，通过第一枢轴可枢转地连接至所述真空容器，用于封堵所述真空容器的开口；止动件；以及卡定部件。所述止动件的第一端通过第二枢轴可枢转地连接至所述盖部；所述卡定部件相对于所述真空容器固定，具有至少一个卡止结构，所述卡止结构用于对所述止动件的第二端进行卡止，以使所述盖部保持预设的打开角度。

技术领域

本实用新型涉及一种真空装置，特别涉及一种在打开真空容器的盖部后能够安全地保持盖部的打开状态的真空装置。

背景技术

在以往的进行真空蒸镀等作业的真空装置的真空容器2中，盖部1通过枢轴可旋转地连接于真空容器2。随着真空容器2的大型化，盖部1的重量会比较重，因此在开闭盖部1时，一般利用诸如吊车之类的工具(图中未示出)将盖部1吊起，并且，需要在盖部1的打开过程中无论盖部1打开到哪个位置都能够不关闭，即需要盖部1能够保持在任意的打开角度(参照图1)。由于盖部的重量比较重，因此，在用吊车吊起盖部并将其保持在某个打开角度时，一旦拉起盖部的吊钩脱钩，盖部会不受控制地急速关闭，容易造成盖部和真空容器的损坏，且从安全角度来看也是极为危险的。

实用新型内容

本实用新型正是为了解决上述问题而提出的，其主要目的在于提供一种在打开真空容器的盖部后能够安全地保持盖部的打开状态的真空容器。

为了实现上述目的，本实用新型的真空装置包括：

真空容器；和

盖部，通过第一枢轴可枢转地连接至所述真空容器，用于封堵所述真空容器的开口，

其特征在于，

还包括止动件和卡定部件，

所述止动件的第一端通过第二枢轴可枢转地连接至所述盖部，所述卡定部件相对于所述真空容器固定，具有至少一个卡止结构，所述卡止结构用于对所述止动件的第二端进行卡止，以使所述盖部保持预设的打开角度。

优选的是，所述卡止结构具有倾斜部和竖直部，所述止动件的第二端抵靠所述竖直部而形成卡止，所述倾斜部用于在所述盖部的打开过程中引导所述止动件的第二端越过所述卡止结构。

优选的是，所述倾斜部和所述竖直部彼此相交，形成尖齿结构。

优选的是，多个卡止结构依次排列，形成锯齿状结构。

优选的是，还包括驱动部，用于驱动所述盖部打开和关闭，所述驱动部的一端通过第三枢轴可枢转地连接于所述真空容器，所述驱动部的另一端通过第四枢轴可枢转地连接于所述盖部。

优选的是，通过所述驱动部收缩而打开所述盖部，当将所述止动件的第二端卡止于最靠近所述第一枢轴的所述卡止结构而使所述盖部以最大角度打开时，所述最大角度小于90°。

优选的是，所述最大角度不大于85°。

优选的是，所述驱动部为伸缩气缸。

优选的是，在所述盖部设有止动件保持部件，用于将所述止动件保持在所述盖部上，以阻止所述止动件朝向靠近所述卡定部件的方向枢转，其中，所述止动件保持部件到所述第二枢轴的距离小于所述止动件的长度。

优选的是，所述止动件保持部件由板簧构件构成，具有依次相连的固定部、第一弹性部、第二弹性部和第三弹性部，

在自由状态下，所述第一弹性部与所述固定部位于同一平面，所述第二弹性部与所述第一弹性部之间形成钝角，所述第三弹性部与所述第二弹性部之间形成锐角；

当所述止动件被保持在所述盖部上时，所述第三弹性部支承所述止动件。

优选的是，在自由状态下，所述第三弹性部与所述固定部垂直。