[实用新型]真空装置有效
| 申请号: | 201822007503.8 | 申请日: | 2018-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN209456550U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
| 发明(设计)人: | 星野孝雄;相泽雄树;笔山弘章 | 申请(专利权)人: | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 张宝荣 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 真空容器 盖部 真空装置 止动件 卡定部件 卡止结构 可枢转地 枢轴 本实用新型 第一端 封堵 卡止 预设 开口 | ||
1.一种真空装置,包括:
真空容器;和
盖部,通过第一枢轴可枢转地连接至所述真空容器,用于封堵所述真空容器的开口,
其特征在于,
还包括止动件和卡定部件,
所述止动件的第一端通过第二枢轴可枢转地连接至所述盖部,
所述卡定部件相对于所述真空容器固定,具有至少一个卡止结构,所述卡止结构用于对所述止动件的第二端进行卡止,以使所述盖部保持预设的打开角度。
2.根据权利要求1所述的真空装置,其特征在于,
所述卡止结构具有倾斜部和竖直部,所述止动件的第二端抵靠所述竖直部而形成卡止,所述倾斜部用于在所述盖部的打开过程中引导所述止动件的第二端越过所述卡止结构。
3.根据权利要求2所述的真空装置,其特征在于,
所述倾斜部和所述竖直部彼此相交,形成尖齿结构。
4.根据权利要求3所述的真空装置,其特征在于,
多个卡止结构依次排列,形成锯齿状结构。
5.根据权利要求1所述的真空装置,其特征在于,
还包括驱动部,用于驱动所述盖部打开和关闭,所述驱动部的一端通过第三枢轴可枢转地连接于所述真空容器,所述驱动部的另一端通过第四枢轴可枢转地连接于所述盖部。
6.根据权利要求5所述的真空装置,其特征在于,
通过所述驱动部收缩而打开所述盖部,当将所述止动件的第二端卡止于最靠近所述第一枢轴的所述卡止结构而使所述盖部以最大角度打开时,所述最大角度小于90°。
7.根据权利要求6所述的真空装置,其特征在于,
所述最大角度不大于85°。
8.根据权利要求5所述的真空装置,其特征在于,
所述驱动部为伸缩气缸。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的真空装置,其特征在于,
在所述盖部设有止动件保持部件,用于将所述止动件保持在所述盖部上,以阻止所述止动件朝向靠近所述卡定部件的方向枢转,
所述止动件保持部件到所述第二枢轴的距离小于所述止动件的长度。
10.根据权利要求9所述的真空装置,其特征在于,
所述止动件保持部件由板簧构件构成,具有依次相连的固定部、第一弹性部、第二弹性部和第三弹性部,
在自由状态下,所述第一弹性部与所述固定部位于同一平面,所述第二弹性部与所述第一弹性部之间形成钝角,所述第三弹性部与所述第二弹性部之间形成锐角;
当所述止动件被保持在所述盖部上时,所述第三弹性部支承所述止动件。
11.根据权利要求10所述的真空装置,其特征在于,
在自由状态下,所述第三弹性部与所述固定部垂直。
12.根据权利要求10所述的真空装置,其特征在于,
在所述真空容器设有解除部件,用于在所述盖部关闭后解除所述止动件保持部件对所述止动件的保持。
13.根据权利要求12所述的真空装置,其特征在于,
所述解除部件包括固定于所述卡定部件旁侧的柱状凸起,用于推压所述第二弹性部,以使所述第一弹性部变形,解除对所述止动件的保持。
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