[实用新型]三氯硅烷合成装置有效
申请号: | 201821998036.3 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN209242694U | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 史隽涛;赵铁;李晓康;张秋元;张建军 | 申请(专利权)人: | 沁阳国顺硅源光电气体有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 | 代理人: | 余炎锋 |
地址: | 454550 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反应壳体 进气壳体 内套管 三氯硅烷合成装置 本实用新型 分离壳体 加料管 硅粉 充分混合 顶部设置 反应效率 强制循环 三氯硅烷 生产技术 沉降腔 出气口 混合壳 进气管 内端部 排放口 膨胀腔 体内部 无定向 循环泵 循环口 侧壁 延伸 | ||
本实用新型属于三氯硅烷生产技术领域。一种三氯硅烷合成装置,包括进气壳体,所述进气壳体的侧壁上设置有进气管,进气壳体的底部设置有排放口;混合壳体内部设置有内套管,所述内套管的中部较两端细,在所述内套管的中部设置有第一循环口;反应壳体,所述反应壳体上设置有加料管,所述加料管的内端部延伸至所述反应壳体的中部;所述分离壳体顶部设置有出气口,所述分离壳体包括位于上部的呈圆柱形的沉降腔和位于下部的呈锥形的膨胀腔。本实用新型能够实现气和硅粉的充分混合,并且结合循环泵的设置能够实现强制循环,在此过程中,实现了硅粉和气流的无定向作用,大大提高了产品的反应效率。
技术领域
本实用新型属于三氯硅烷生产技术领域,具体涉及一种三氯硅烷合成装置。
背景技术
三氯硅烷用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成,是有机硅烷偶联剂中最基本的单体,也是生产半导体硅、单晶硅的原料,随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求,生产量越来越大。
其制作过程是硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉,与通入炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应。生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅,由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝,制得三氯氢硅成品。
在制作过程中,需要硅粉和氯化氢气体的充分混合,进而实现充分反应,由于整个过程需要密闭性腔,现有技术中无法使得硅粉和氯化氢气体进行充分混合,从而导致原料的浪费和其他成分的产生,影响质量。
发明内容
本实用新型的目的是针对上述存在的问题和不足,提供一种三氯硅烷合成装置,其结构设计合理,能够实现气和硅粉的充分混合,同时能够实现自循环作用,进一步的提高反应段的扰动混合效果。
为达到上述目的,所采取的技术方案是:
一种三氯硅烷合成装置,包括:进气壳体,所述进气壳体的侧壁上设置有进气管,进气壳体的底部设置有排放口;混合壳体,其内部设置有内套管,所述内套管的中部较两端细,在所述内套管的中部设置有第一循环口;反应壳体,所述反应壳体上设置有加料管,所述加料管的内端部延伸至所述反应壳体的中部;和分离壳体,所述分离壳体顶部设置有出气口,所述分离壳体包括位于上部的呈圆柱形的沉降腔和位于下部的呈锥形的膨胀腔;在所述膨胀腔的侧壁上设置有第二循环口,所述第一循环口和第二循环口连通。
根据本实用新型三氯硅烷合成装置,优选地,所述第一循环口和所述第二循环口之间并排设置有第一分支管路和第二分支管路,在第一分支管路上设置有循环泵,在第一分支管路和第二分支管路上均设置有控制阀。
根据本实用新型三氯硅烷合成装置,优选地,所述内套管上设置有至少3个第一循环口,所述膨胀腔的侧壁上设置有与第一循环口数量相当的第二循环口。
根据本实用新型三氯硅烷合成装置,优选地,所述加料管的内端部设置有锥形罩,在所述锥形罩的下端设置有打散网,在所述加料管的外端部设置有螺旋给料机。
根据本实用新型三氯硅烷合成装置,优选地,所述内套管呈单叶双曲面结构。
采用上述技术方案,所取得的有益效果是:
本实用新型结构设计合理,其通过单叶双曲面结构的内套管的设计,能够实现气和硅粉的充分混合,并且结合循环泵的设置能够实现强制循环,在此过程中,实现了硅粉和气流的无定向作用,大大提高了产品的反应效率,进一步的提高反应段的扰动混合效果,使得整个设备的生产效率更高,能够避免原料的浪费,提高整个腔体内的动态运行。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下文中将对本实用新型实施例的附图进行简单介绍。其中,附图仅仅用于展示本实用新型的一些实施例,而非将本实用新型的全部实施例限制于此。
图1为根据本实用新型实施例的三氯硅烷合成装置的结构示意图。
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