[实用新型]三氯硅烷合成装置有效
| 申请号： | 201821998036.3 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209242694U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 史隽涛;赵铁;李晓康;张秋元;张建军 | 申请（专利权）人： | 沁阳国顺硅源光电气体有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 | 代理人： | 余炎锋 |
| 地址： | 454550 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应壳体 进气壳体 内套管 三氯硅烷合成装置 本实用新型 分离壳体 加料管 硅粉 充分混合 顶部设置 反应效率 强制循环 三氯硅烷 生产技术 沉降腔 出气口 混合壳 进气管 内端部 排放口 膨胀腔 体内部 无定向 循环泵 循环口 侧壁 延伸 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氯硅烷合成装置，其特征在于，包括：
进气壳体，所述进气壳体的侧壁上设置有进气管，进气壳体的底部设置有排放口；
混合壳体，其内部设置有内套管，所述内套管的中部较两端细，在所述内套管的中部设置有第一循环口；
反应壳体，所述反应壳体上设置有加料管，所述加料管的内端部延伸至所述反应壳体的中部；
和分离壳体，所述分离壳体顶部设置有出气口，所述分离壳体包括位于上部的呈圆柱形的沉降腔和位于下部的呈锥形的膨胀腔；
在所述膨胀腔的侧壁上设置有第二循环口，所述第一循环口和第二循环口连通。
2.根据权利要求1所述的三氯硅烷合成装置，其特征在于，所述第一循环口和所述第二循环口之间并排设置有第一分支管路和第二分支管路，在第一分支管路上设置有循环泵，在第一分支管路和第二分支管路上均设置有控制阀。
3.根据权利要求1所述的三氯硅烷合成装置，其特征在于，所述内套管上设置有至少3个第一循环口，所述膨胀腔的侧壁上设置有与第一循环口数量相同的第二循环口。
4.根据权利要求1所述的三氯硅烷合成装置，其特征在于，所述加料管的内端部设置有锥形罩，在所述锥形罩的下端设置有打散网，在所述加料管的外端部设置有螺旋给料机。
5.根据权利要求1所述的三氯硅烷合成装置，其特征在于，所述内套管呈单叶双曲面结构。
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