[实用新型]薄膜晶体管结构及像素结构有效
申请号: | 201821990105.6 | 申请日: | 2018-11-29 |
公开(公告)号: | CN209249464U | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 尤彦文;许翼材;王文哲;张原豪;王文铨;张少伦 | 申请(专利权)人: | 中华映管股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;G02F1/1362 |
代理公司: | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人: | 席勇;董云海 |
地址: | 中国台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属垫 半导体垫 薄膜晶体管结构 半导体通道层 栅极绝缘层 本实用新型 相对两侧 像素结构 漏极 源极 影响显示品质 后续工艺 偏移 间隙物 滑落 组立 覆盖 | ||
本实用新型公开了一种薄膜晶体管结构及像素结构。薄膜晶体管结构包含栅极、第一金属垫、第二金属垫、栅极绝缘层、半导体通道层、第一半导体垫、第二半导体垫、源极、漏极、第三金属垫以及第四金属垫。第一金属垫和第二金属垫分别位于栅极的相对两侧。栅极绝缘层覆盖栅极、第一金属垫和第二金属垫。半导体通道层设置于栅极和栅极绝缘层上方。第一半导体垫和第二半导体垫分别位于半导体通道层的相对两侧且分别位于第一金属垫和第二金属垫上。源极和漏极设置于半导体通道层上。第三金属垫和第四金属垫分别设置于第一半导体垫和第二半导体垫上。借此,本实用新型的薄膜晶体管结构,可以避免后续工艺因组立偏移造成间隙物滑落进而影响显示品质。
技术领域
本实用新型是关于一种薄膜晶体管结构及像素结构。
背景技术
液晶显示面板通常是由薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor ArraySubstrate,TFT array substrate)与彩色滤光基板(Color Filter substrate,CFsubstrate) 所组成。为了在薄膜晶体管阵列基板与彩色滤光基板之间填入液晶层(liquidcrystal layer),而必须利用间隙物(spacer)使两基板之间能维持一定的间隙。通常间隙物是设置在彩色滤光基板上,其与薄膜晶体管阵列基板抵接。然而,液晶显示面板在组立的过程中,因公差而使得间隙物在组立中产生偏移,所以间隙物容易因薄膜晶体管本身的高低差问题而有滑落的风险。因此,两基板之间的间隙将会不均匀,进而造成面板显示不良的现象。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种薄膜晶体管结构及像素结构,其无须额外的光罩成本和额外的工艺,且不影响薄膜晶体管的通道长度及宽度,并可以避免后续工艺因组立偏移造成间隙物滑落进而影响显示品质。
本实用新型提供一种薄膜晶体管结构,其包含栅极、第一金属垫、第二金属垫、栅极绝缘层、半导体通道层、第一半导体垫、第二半导体垫、源极、漏极、第三金属垫以及第四金属垫。第一金属垫和第二金属垫分别位于栅极的相对两侧。栅极绝缘层覆盖栅极、第一金属垫和第二金属垫。半导体通道层设置于栅极和栅极绝缘层上方。第一半导体垫和一第二半导体垫分别位于半导体通道层的相对两侧且分别位于第一金属垫和第二金属垫上。源极和漏极设置于半导体通道层上。第三金属垫和第四金属垫分别设置于第一半导体垫和第二半导体垫上。
根据本实用新型某些实施方式,第一金属垫、第二金属垫和栅极位于同一平面。
根据本实用新型某些实施方式,第一半导体垫、第二半导体垫和半导体通道层位于同一平面。
根据本实用新型某些实施方式,第三金属垫、第四金属垫和漏极位于同一平面。
根据本实用新型某些实施方式,栅极与第一金属垫之间相隔第一距离,且栅极与第二金属垫之间相隔第二距离,其中第一距离为1.5微米至4微米,且第二距离为1.5微米至4微米。
本实用新型提供一种像素结构,其包含主动阵列基板、对向基板以及至少一个间隙物。主动阵列基板包含至少一个如上所述的薄膜晶体管结构。对向基板与主动阵列基板相对设置。间隙物夹置于主动阵列基板与对向基板之间,且位于半导体通道层上。
根据本实用新型某些实施方式,主动阵列基板还包含数据线连接源极,且数据线沿第一方向延伸并覆盖部分的第一半导体垫和部分的第二半导体垫。
根据本实用新型某些实施方式,第三金属垫和第四金属垫位于数据线的同一侧。
根据本实用新型某些实施方式,像素结构还包含液晶层位于主动阵列基板与对向基板之间。
根据本实用新型某些实施方式,主动阵列基板还包含像素电极电性连接漏极。
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