[实用新型]检漏工装

说明书

本实用新型提供了一种检漏工装，包括：外管结构，外管结构包括相互连接的第一连接部和第二连接部，第一连接部用于与待检设备的真空腔体连接，第二连接部用于与检漏仪连接。检漏工装还可以包括内管结构，穿设在外管结构中，内管结构与外管结构之间具有空腔，内管结构的一端封闭，内管结构的另一端用于与真空腔体中的待检部件连接。通过本实用新型提供的技术方案，能够解决现有技术中对设备内部的部件进行检漏不方便操作的问题。

技术领域

本实用新型涉及设备检漏技术领域，具体而言，涉及一种检漏工装。

背景技术

金属有机气相沉积设备(MOCVD)中的喷淋头(showerhead)部件真空结构复杂，整体位于真空腔室内部，且与腔室外部的多根管路相连。通常在进行检漏时，需要将金属有机气相沉积设备的腔体打开，并拆除内部的大部分装置，才能露出腔体内部的喷淋头，以对喷淋头和其他部件的连接处或进气、进水管与上盖连接处进行检漏，操作繁琐。

实用新型内容

本实用新型提供了一种检漏工装，以解决现有技术中对设备内部的部件进行检漏不方便操作的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种检漏工装，包括：外管结构，外管结构包括相互连接的第一连接部和第二连接部，第一连接部用于与待检设备的真空腔体连接，第二连接部用于与检漏仪连接；第一连接部包括顺次连接的第一接头、柔性管和第二接头，其中，第一接头用于与真空腔体连接，第二接头用于与第二连接部连接，柔性管可伸缩。

进一步地，第一接头为刀口法兰，和/或第二接头为刀口法兰。

进一步地，第一接头用于与真空腔体连接的一端为第一连接端，第二接头用于与第二连接部连接的一端为第二连接端，第一连接端的外径大于第二连接端的外径。

进一步地，柔性管为波纹管。

进一步地，柔性管的两端分别与第一接头和第二接头焊接。

进一步地，外管结构还包括密封件，密封件设置在第二接头和第二连接部之间。

进一步地，密封件为铜密封圈，第二接头与第二连接部通过紧固件连接。

进一步地，第二连接部包括筒体和设置在筒体的外圆周上的卡环，筒体与第二接头连接，卡环用于与检漏仪连接。

进一步地，检漏工装还包括：内管结构，穿设在外管结构中，内管结构与外管结构之间具有空腔，内管结构的一端封闭，内管结构的另一端用于与真空腔体中的待检部件连接。

进一步地，内管结构包括：输送管，输送管穿设在外管结构中；堵帽，设置在输送管的第一端以封堵第一端；第三接头，设置在输送管的第二端，第三接头用于与待检部件连接。

应用本实用新型的技术方案，检漏工装包括外管结构，其中，外管结构的第一连接部用于与待检设备(例如金属有机气相沉积设备)的真空腔体连接，外管结构的第二连接部用于与检漏仪连接。通过上述设置可在不拆卸待检设备的情况下，使用外管结构实现待检部件和检漏仪的关联，从而通过检漏仪对喷淋头和其他部件的连接处或进气、进水管与上盖连接处进行检漏。因此，通过该检漏工装无需拆卸待检设备就可对待检设备内部的部件进行检漏，这样便于操作，成本低、效率高。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型的实施例提供的检漏工装的结构示意图；

图2示出了图1中的检漏工装的剖视图。

其中，上述附图包括以下附图标记：