[实用新型]检漏工装

权利要求书

1.一种检漏工装，其特征在于，包括：

外管结构，所述外管结构包括相互连接的第一连接部(10)和第二连接部(20)，所述第一连接部(10)用于与待检设备的真空腔体连接，所述第二连接部(20)用于与检漏仪连接；

所述第一连接部(10)包括顺次连接的第一接头(11)、柔性管(12)和第二接头(13)，其中，所述第一接头(11)用于与所述真空腔体连接，所述第二接头(13)用于与所述第二连接部(20)连接，所述柔性管(12)可伸缩。

2.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述第一接头(11)为刀口法兰，和/或所述第二接头(13)为刀口法兰。

3.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述第一接头(11)用于与所述真空腔体连接的一端为第一连接端，所述第二接头(13)用于与所述第二连接部(20)连接的一端为第二连接端，所述第一连接端的外径大于所述第二连接端的外径。

4.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述柔性管(12)为波纹管。

5.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述柔性管(12)的两端分别与所述第一接头(11)和所述第二接头(13)焊接。

6.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述外管结构还包括密封件(30)，所述密封件(30)设置在所述第二接头(13)和所述第二连接部(20)之间。

7.根据权利要求6所述的检漏工装，其特征在于，所述密封件(30)为铜密封圈，所述第二接头(13)与所述第二连接部(20)通过紧固件连接。

8.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述第二连接部(20)包括筒体(21)和设置在所述筒体(21)的外圆周上的卡环(22)，所述筒体(21)与所述第二接头(13)连接，所述卡环(22)用于与所述检漏仪连接。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的检漏工装，其特征在于，所述检漏工装还包括：

内管结构(40)，穿设在所述外管结构中，所述内管结构(40)与所述外管结构之间具有空腔，所述内管结构(40)的一端封闭，所述内管结构(40)的另一端用于与所述真空腔体中的待检部件连接。

10.根据权利要求9所述的检漏工装，其特征在于，所述内管结构(40)包括：

输送管(41)，所述输送管(41)穿设在所述外管结构中；

堵帽(42)，设置在所述输送管(41)的第一端以封堵所述第一端；

第三接头(43)，设置在所述输送管(41)的第二端，所述第三接头(43)用于与所述待检部件连接。