[实用新型]常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置

权利要求书

1.常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，包括用于放置晶圆的底板，底板之上有下盖，下盖的口部朝下且呈密封状罩在底板的边沿上，由底板和下盖构成容纳氢氟酸的腔体；下盖的盖顶上有进口和出口，所述进口和出口分别位于邻近下盖一对相对边的盖顶上；其特征在于:下盖之上有上盖，上盖的口部四周呈紧密状压在下盖的盖顶边沿上；所述上盖的盖顶上有第一孔和第二孔，第一孔内有进液管，进液管下端与所述进口相连，进液管上端有盛装氢氟酸的容器，所述容器通过开关与进液管连通；第二孔内有排气管，排气管下端与出口相连，排气管上端穿过第二孔后伸出在上盖之外并连有抽风机。

2.根据权利要求1所述的常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，其特征在于：所述底板、下罩的口部及盖顶、上罩口部及盖顶均为面积相同的长方形，所述进口和出口分别位于下盖的盖顶两头，所述第一孔和第二孔分别位于上盖的盖顶两头。

3.根据权利要求1所述的常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，其特征在于：所述容器是透明瓶。

4.根据权利要求3所述的常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，其特征在于：所述透明瓶是耐氢氟酸瓶。

5.根据权利要求1所述的常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，其特征在于：所述排气管是柔性管。

6.根据权利要求5所述的常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，其特征在于：所述柔性管是由耐氢氟酸材质制成的管。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，其特征在于：下盖的盖顶上有第一把手。

8.根据权利要求1~6中任一项所述的常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，其特征在于：上盖的盖顶上有第二把手。

9.根据权利要求7所述的常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置，其特征在于：上盖的盖顶上有第二把手。