[实用新型]扩散炉有效
申请号: | 201821931370.7 | 申请日: | 2018-11-22 |
公开(公告)号: | CN209722362U | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 陈海燕 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | C30B31/10 | 分类号: | C30B31/10;C30B31/16;H01L31/18 |
代理公司: | 32278 苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 钱伟<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 215011 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 炉体 喷孔 出气装置 进气装置 进气管 本实用新型 进气管道 输送气体 体内 排放气体 排气管道 体内气体 不均匀 扩散炉 硅片 炉口 炉尾 开口 | ||
1.一种扩散炉,包括炉体、进气装置及出气装置,所述炉体的一端设有炉口,所述炉体的另一端设有炉尾,所述进气装置和所述出气装置均与所述炉体连接,其特征在于:所述进气装置包括向所述炉体内输送气体的第一进气管道,所述出气装置包括向所述炉体外排放气体的排气管道,所述第一进气管道包括位于所述炉体内的第一进气管,所述第一进气管设有若干喷孔,所述喷孔朝向不同方向开口,所述喷孔之间的距离在炉尾到炉口的方向上逐渐增大。
2.根据权利要求1所述的扩散炉,其特征在于:所述进气装置还包括第二进气管道,所述第二进气管道包括位于所述炉体内的第二进气管,所述第二进气管上设有若干喷孔。
3.根据权利要求2所述的扩散炉,其特征在于:所述第一进气管位于所述炉体内上方,所述第二进气管位于所述炉体内下方,所述排气管道位于所述炉体内下方。
4.根据权利要求1所述的扩散炉,其特征在于:所述扩散炉还包括位于炉体内上的环状挂钮,用于悬挂所述第一进气管。
5.根据权利要求2所述的扩散炉,其特征在于:所述第一进气管上的若干喷孔在炉体内朝左、右、下三个方向开口,所述第二进气管上的若干喷孔在炉体内朝上方开口。
6.根据权利要求2所述的扩散炉,其特征在于:所述第一进气管道及所述第二进气管道还包括位于所述炉体外的衔接管,所述衔接管分别与所述第一进气管和所述第二进气管连通并安插于炉尾处设置的通孔内,所述衔接管与相应的进气管在通孔处可拆卸连接。
7.根据权利要求1所述的扩散炉,其特征在于:所述进气装置还包括第三进气管道,所述第三进气管道设置在所述炉体中间部位,所述第三进气管道在所述炉尾处输送气体。
8.根据权利要求2所述的扩散炉,其特征在于:所述第一进气管及所述第二进气管自所述炉尾延伸至所述炉口且靠近所述炉口的一端为闭口。
9.根据权利要求1所述的扩散炉,其特征在于:所述进气装置还包括依次相连的主管道、若干分流管道、位于每条所述分流管道上的气体控制流量计及若干进气管道。
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