[实用新型]一种石英管加热闭管装置

说明书

本实用新型公开一种石英管加热闭管装置，包括底座、两块调节板、固定架和加热筒，调节板间隔安装在底座上，且调节板上安装有固定架，固定架上安装有加热筒，本实用新型解决了现有技术中硅片在真空铝扩散前进行抽真空时，硅片表面和石英管的内壁存在一定水汽的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及闭管扩散石英管封管装置技术领域，尤其涉及一种石英管加热闭管装置。

背景技术

现有电子技术在硅片生产过程中，闭管扩散石英管封管时，通常是在敞开的空间范围内进行人工调节固定，这样虽然操作方便，便于调节，但是吸附在硅片表面及石英管内壁的会存在微量水汽，无法保证取保扩散状态一致，这样很难保证扩散结果受控。

授权公告号为：CN 205043658 U的专利公开了一种石英管闭管支架，包括夹具板、滑块、轨道板和支腿，夹具板上间隔设有两个或两个以上夹具，轨道板设于所述夹具板下方，滑块设于夹具板与轨道板之间，夹具板和轨道板通过滑块固定连接，支腿设于所述轨道板下方。夹具包括两个夹持板，两个夹持板之间设有弹簧和螺栓，弹簧套设在螺栓上。夹具板与轨道板之间设有定位杆，定位杆穿过夹具板并与夹具板螺纹连接。它还包括滑行杆、底板和弧形调节槽。该专利改变了现有石英管闭管过程中人工夹持的现象，解决石英管对嘴不准确情况的发生，实现灵活调节和关键部位定位问题，但是该专利没有解决硅片表面会存在微量水汽的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种石英管加热闭管装置，解决了现有技术中的硅片在真空铝扩散前进行抽真空时，硅片表面和石英管的内壁存在一定水汽的技术问题。

一种石英管加热闭管装置，包括底座、两块调节板、固定架和加热筒，所述调节板间隔安装在底座上，且调节板上安装有固定架，所述固定架上安装有加热筒。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地，所述调节板上间隔开设有多个固定孔，所述固定架通过螺栓安装至所述调节板上，采用本步的有益效果是通过开设的多个固定孔，这样可以调节固定架在调节板上的位置，从而实现加热筒的位置的调节，方便加工。

进一步地，所述固定架为两个，所述固定架包括连接段、两个倾斜段和两个固定段，所述连接段两端分别安装在调节板上，且连接段两端分别连接有所述倾斜段，所述倾斜段上端安装有所述固定段，所述固定段与加热筒底部连接，采用本步的有益效果是通过对固定架进行设计，从而保证稳定的同时，也能够便于调节。

进一步地，所述加热筒包括外壳、内壳、保温层和加热棒，所述内壳、外壳均为筒状，且内壳和外壳内部设置有所述保温层，所述加热棒设置在内壳的内侧，采用本步的有益效果是通过加热棒进行加热，保证内壳形成的空腔内部具有一定的温度，这样能够减少硅片表面的水汽。

进一步地，所述内壳、外壳均有两个半圆筒状的壳体铰接而成开闭的壳体，采用本步的有益效果是保证内壳和外壳可开闭，这样便于放置石英管，从而扩大应用范围。

进一步地，所述外壳上设置有把手，采用本步的有益效果是通过把手可以方便翻开壳体，提高安全性。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种石英管加热闭管装置，利用两个固定架安装在调节板上，这样可以调节固定架之间的间距，提高实用性。

2.本实用新型添加了加热筒，利用加热筒可以实现恒温环境，可以能够保证石英管内部不会存在水汽。

3.本实用新型的加热筒是可开闭的，这样能够便于放置石英管，方便进行操作。

4.本实用新型结构简单，操作方便，且实用性高。

附图说明