[实用新型]一种石英管加热闭管装置有效
| 申请号： | 201821924657.7 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN209259927U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 顾标琴;高占成;徐爱民 | 申请（专利权）人： | 江苏润奥电子制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B23/045 | 分类号： | C03B23/045 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 潘云峰 |
| 地址： | 225000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调节板 固定架 石英管 本实用新型 管装置 加热筒 底座 加热 硅片表面 间隔安装 水汽 抽真空 真空铝 硅片 内壁 扩散 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英管加热闭管装置，其特征在于，包括底座、两块调节板、固定架和加热筒，所述调节板间隔安装在底座上，且调节板上安装有固定架，所述固定架上安装有加热筒。
2.根据权利要求1所述的一种石英管加热闭管装置，其特征在于，所述调节板上间隔开设有多个固定孔，所述固定架通过螺栓安装至所述调节板上。
3.根据权利要求2所述的一种石英管加热闭管装置，其特征在于，所述固定架为两个，所述固定架包括连接段、两个倾斜段和两个固定段，所述连接段两端分别安装在调节板上，且连接段两端分别连接有所述倾斜段，所述倾斜段上端安装有所述固定段，所述固定段与加热筒底部连接。
4.根据权利要求3所述的一种石英管加热闭管装置，其特征在于，所述加热筒包括外壳、内壳、保温层和加热棒，所述内壳、外壳均为筒状，且内壳和外壳内部设置有所述保温层，所述加热棒设置在内壳的内侧。
5.根据权利要求4所述的一种石英管加热闭管装置，其特征在于，所述内壳、外壳均有两个半圆筒状的壳体铰接而成开闭的壳体。
6.根据权利要求5所述的一种石英管加热闭管装置，其特征在于，所述外壳上设置有把手。
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