[实用新型]干燥系统

说明书

本实用新型涉及一种干燥系统，其包括：样品台，样品台的一侧用于承载待干燥样品；加热模块，加热模块包括与样品台的中心区对应设置的第一加热模块以及与样品台的边缘区对应设置的第二加热模块，第一加热模块和第二加热模块用于在干燥时分别对样品台上的待干燥样品的不同区域进行加热。上述干燥系统最终制备的薄膜均匀，成膜性好。

技术领域

本实用新型涉及样品干燥技术领域，特别是涉及一种干燥系统。

背景技术

喷墨打印(Ink Jet Print，简称IJP)是一种可直接进行图案化薄膜沉积的新型制程技术，普遍应用到发光显示器件的各功能层的制备中，例如：OLED(Organic Light-Emitting Display，有机电致发光显示)器件中的各功能层，如空穴传输层、有机发光层以及电子传输层等通常是采用喷墨打印技术形成特定的图案。

然而，在喷墨打印过程中，由于传统喷墨打印机的喷头尺寸远小于样品台上待打印区域的尺寸，喷墨打印机需要通过多次打印才能将墨滴完全覆盖在整个待打印区域上。但是由于待打印中心区和边缘区上方的蒸汽压不同，会导致待打印中心区和待打印边缘区墨滴的挥发速度不同，造成待打印中心区和边缘区的墨滴挥发量不均匀，进而造成最终制成的薄膜厚度不均。

实用新型内容

基于此，有必要针对在喷墨打印过程中，传统的喷墨打印装置制备的发光显示器件薄膜均匀性差的问题，提供一种干燥系统，利用此干燥系统可提高成膜的均匀性。

一种干燥系统，所述干燥系统包括：

样品台，用于承载待干燥样品；

加热模块，所述加热模块包括与样品台的中心区对应设置的第一加热模块以及与样品台的边缘区对应设置的第二加热模块，所述第一加热模块和所述第二加热模块用于在干燥时分别对所述样品台上的待干燥样品的不同区域进行加热。

上述干燥系统是针对样品台不同的区域(中心区和边缘区)对应设置了不同温度的加热模块，在样品干燥过程中，第一加热模块和第二加热模块分别对所述样品台上的待干燥样品的中心区和边缘区进行加热。具体而言，将第一加热模块的设定的温度高于第二加热模块设定的温度，通过这种设置，降低了样品台边缘区域的蒸汽压，提高了样品台中心区域的蒸汽压，进而使样品台中心区内的墨滴挥发速率比样品台边缘区域内的墨滴挥发速率快，以使样品台中心区域内的墨滴挥发量与样品台边缘区域内的墨滴挥发量持平。这样也就弥补了样品台不同区域的墨滴挥发量不均匀的问题，最终制备的薄膜均匀，成膜性好。

在其中一个实施例中，所述加热模块位于所述样品台的另一侧，所述第一加热模块的温度比所述第二加热模块的温度高。

在其中一个实施例中，所述第一加热模块与所述第二加热模块之间设有隔热层。

在其中一个实施例中，所述第一加热模块包括第一加热管和第一导热层，所述第一导热层的底面与所述第一加热管连接，所述第一导热层的顶面与所述样品台连接；

所述第二加热模块包括第二加热管和第二导热层，所述第二导热层的底面与所述第二加热管连接，所述第二导热层的顶面与所述样品台连接。

在其中一个实施例中，所述干燥系统还包括控制机构，所述控制机构用于控制所述第一加热模块和所述第二加热模块分别以不同的发热功率对待干燥样品进行干燥。

在其中一个实施例中，所述干燥系统还包括用于对样品台上的待干燥样品进行冷却的冷凝模块，所述冷凝模块位于所述样品台放置待干燥样品的一侧。

在其中一个实施例中，所述冷凝模块包括与所述样品台的中心区对应设置的第一冷凝模块以及与所述样品台的边缘区对应设置的第二冷凝模块，所述第一冷凝模块和所述第二冷凝模块用于在干燥时分别对待干燥样品进行冷却。