[实用新型]干燥系统有效
| 申请号： | 201821891979.6 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN209756491U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 柳开郎 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄菲 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热模块 样品台 干燥系统 待干燥 本实用新型 边缘区 成膜性 中心区 加热 制备 薄膜 承载 | ||
1.一种干燥系统，其特征在于，包括：
样品台，所述样品台的一侧用于承载待干燥样品；
加热模块，所述加热模块包括与所述样品台的中心区对应设置的第一加热模块以及与所述样品台的边缘区对应设置的第二加热模块，所述第一加热模块和所述第二加热模块用于在干燥时分别对所述样品台上的待干燥样品的不同区域进行加热。
2.根据权利要求1所述的干燥系统，其特征在于，所述加热模块位于所述样品台的另一侧，所述第一加热模块的温度比所述第二加热模块的温度高。
3.根据权利要求2所述的干燥系统，其特征在于，所述第一加热模块与所述第二加热模块之间设有隔热层。
4.根据权利要求3所述的干燥系统，其特征在于，所述第一加热模块包括第一加热管和第一导热层，所述第一导热层的底面与所述第一加热管连接，所述第一导热层的顶面与所述样品台连接；
所述第二加热模块包括第二加热管和第二导热层，所述第二导热层的底面与所述第二加热管连接，所述第二导热层的顶面与所述样品台连接。
5.根据权利要求1所述的干燥系统，其特征在于，所述干燥系统还包括控制机构，所述控制机构用于控制所述第一加热模块和所述第二加热模块分别以不同的发热功率对待干燥样品进行干燥。
6.根据权利要求2-5任一项所述的干燥系统，其特征在于，所述干燥系统还包括用于对样品台上的待干燥样品进行冷却的冷凝模块，所述冷凝模块位于所述样品台放置待干燥样品的一侧。
7.根据权利要求6所述的干燥系统，其特征在于，所述冷凝模块包括与所述样品台的中心区对应设置的第一冷凝模块以及与所述样品台的边缘区对应设置的第二冷凝模块，所述第一冷凝模块和所述第二冷凝模块用于在干燥时分别对待干燥样品进行冷却。
8.根据权利要求6所述的干燥系统，其特征在于，所述干燥系统还包括干燥箱，所述样品台、所述加热模块以及所述冷凝模块设于所述干燥箱内，所述冷凝模块位于所述样品台的上方，所述加热模块位于所述样品台的下方。
9.根据权利要求8所述的干燥系统，其特征在于，所述干燥系统还包括抽气装置，所述抽气装置与所述干燥箱连接，所述抽气装置用于抽取干燥箱内的气体以使干燥箱形成负压。
10.根据权利要求1-5中任一项所述的干燥系统，其特征在于，所述样品台为可升降式样品台。
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