[实用新型]一种籽晶托有效
| 申请号： | 201821877233.X | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209010633U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 樊龙;彭丽萍;王雪敏;吴卫东;蒋涛;沈昌乐;湛治强;张颖娟;李佳 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B25/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 张栋栋 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 籽晶 底座 籽晶托 夹持组件 籽晶夹 晶托 种籽 坩埚 夹持籽晶 晶体的 本实用新型 固定作用 晶体生长 晶体制备 放入 夹持 均一 空腔 | ||
1.一种籽晶托，用于夹持籽晶，其特征在于，包括相互连接的底座和夹持组件，所述底座与所述夹持组件共同限定形成用于夹持所述籽晶的籽晶夹持槽，所述籽晶位于所述底座与所述夹持组件之间，且所述籽晶远离所述底座的一侧能与所述夹持组件共同限定形成空腔，所述籽晶靠近所述底座的一侧能从所述底座露出。
2.根据权利要求1所述的籽晶托，其特征在于，所述底座与所述夹持组件通过二氧化硅层键合连接。
3.根据权利要求1所述的籽晶托，其特征在于，所述底座设有第一通孔，部分所述籽晶能从所述第一通孔露出。
4.根据权利要求3所述的籽晶托，其特征在于，所述夹持组件包括相互连接的第一固定件和第二固定件，所述第一固定件设有用于容纳所述籽晶的第二通孔，所述第一固定件与所述底座通过二氧化硅层键合连接。
5.根据权利要求4所述的籽晶托，其特征在于，所述第一固定件远离所述底座的一侧与所述第二固定件通过二氧化硅层键合连接。
6.根据权利要求4所述的籽晶托，其特征在于，所述第二固定件包括相互连接的支撑件和连接件，所述连接件设有第三通孔使得所述籽晶与所述支撑件之间能共同限定形成所述空腔。
7.根据权利要求6所述的籽晶托，其特征在于，所述支撑件的一侧与所述连接件通过二氧化硅层键合连接，所述支撑件的另一侧与所述第一固定件通过二氧化硅层键合连接。
8.根据权利要求6所述的籽晶托，其特征在于，所述底座、所述第一固定件、所述连接件、所述支撑件为硅片或石英片。
9.根据权利要求6-8任一项所述的籽晶托，其特征在于，所述第一通孔、所述第三通孔的直径均为10-55毫米，所述底座、所述连接件的厚度均为0.4-1毫米，所述第一固定件的厚度为0.4-2.5毫米，所述支撑件的厚度为0.4-1毫米。
10.根据权利要求7所述的籽晶托，其特征在于，通过二氧化硅层键合连接形成的键合层的厚度均为0.2-4微米。
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