[实用新型]反射式激光束线痕检测机构

说明书

本实用新型公开了一种反射式激光束线痕检测机构，涉及硅片线痕检测技术领域，包括底座、外壳、底板、相机、相机安装板、激光发射器、激光器支架、检测传感器、传感器支架；所述底座上设置有两块底板；所述每块底板上均设置有多个用于固定底板的底板固定孔；所述每块底板上均安装有相机安装板、激光器支架和激光反射板。本实用新型的检测机构通过在激光路径上设置的激光反射板将激光反射到待检硅片上，使得照射到待检硅片上的激光强度稳定均匀，解决了线痕检测图像不清晰的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片线痕检测机构，尤其涉及一种反射式激光束线痕检测机构。

背景技术

线痕是硅片在切割过程中比较常见的一种缺陷，对后续工艺影响很大。线痕非常细小，无法凭借肉眼辨识，造成线痕缺陷的原因多种多样，使得线痕的方向、长度和深浅都没有任何规律。常用的检测线痕方法是激光检测，激光照射硅片表面，在硅片表面发射的光线通过专用相机进行捕捉，通过对采集的激光图像进行分析检测出硅片表面的线痕。中国专利CN105355578A公开了一种太阳能硅片线痕检测装置，包括硅片传送带、固定支架以及激光器组件和相机组件；实现了激光检测硅片表面线痕的功能，但是所述线痕检测装置采用激光直接照射，相机拍摄的线痕图像不够清晰。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种反射式激光束线痕检测机构，线痕图像更加清晰。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种反射式激光束线痕检测机构，包括底座、外壳、底板、相机、相机安装板、激光发射器、激光器支架、检测传感器、传感器支架；所述底座上设置有两块底板；所述每块底板上均设置有多个用于固定底板的底板固定孔；所述每块底板上均安装有相机安装板、激光器支架和用于反射激光的激光反射板；所述相机安装在相机安装板上；所述激光发射器安装在激光器支架上；所述传感器支架安装在底座上；所述检测传感器安装在传感器支架上。本检测机构的激光反射板将激光点转化成均匀的激光束，使得激光照射在待检硅片上的强度更加稳定均匀，相机捕捉到的线痕图像更加清晰。

进一步的是：所述底板通过螺钉固定在底座上。

进一步的是：所述相机为CCD相机。

进一步的是：所述相机安装板和激光器支架通过螺钉安装在底板上。

进一步的是：所述激光反射板为L形塑胶材料板。

进一步的是：所述激光反射板水平部分上设置有三个反射固定板；所述激光反射板通过螺钉安装在底板上。使用激光反射板将激光点转化为强度均匀的激光束，使得照射到待检硅片上的激光强度更加稳定均匀。

进一步的是：所述检测传感器是一种光电传感器。

附图说明

图1为反射式激光束线痕检测机构外观示意图；

图2为反射式激光束线痕检测机构结构示意图。

图中标号为：底座10、外壳20、底板30、相机40、相机安装板41、激光发射器50、激光器支架51、激光反射板60、检测传感器70、传感器支架71、待测硅片80。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

如图1和图2所示的一种反射式激光束线痕检测机构：包括底座10、外壳20、底板30、相机40、相机安装板41、激光发射器50、激光器支架51、检测传感器70、传感器支架71；所述底座10上设置有两块底板30；所述每块底板30上均设置有多个用于固定底板30的底板固定孔31；所述每块底板30上均安装有相机安装板41、激光器支架51和用于反射激光的激光反射板60；所述相机40安装在相机安装板41上；所述激光发射器50安装在激光器支架51上；所述传感器支架71安装在底座10上；所述检测传感器70安装在传感器支架71上。