[实用新型]反射式激光束线痕检测机构有效

专利信息
申请号: 201821876236.1 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN209215245U 公开(公告)日: 2019-08-06
发明(设计)人: 姜明 申请(专利权)人: 苏州诚拓机械设备有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 底板 线痕 硅片 本实用新型 激光反射板 激光器支架 相机安装板 反射式 激光束 底座 检测技术领域 传感器支架 底板固定孔 激光发射器 固定底板 激光反射 激光路径 检测图像 强度稳定 传感器 照射 激光 相机 清晰 检测
【权利要求书】:

1.一种反射式激光束线痕检测机构,包括底座(10)、外壳(20)、底板(30)、相机(40)、相机安装板(41)、激光发射器(50)、激光器支架(51)、检测传感器(70)、传感器支架(71);其特征在于:所述底座(10)上设置有两块底板(30);所述每块底板(30)上均设置有多个用于固定底板(30)的底板固定孔(31);所述每块底板(30)上均安装有相机安装板(41)、激光器支架(51)和用于反射激光的激光反射板(60);所述相机(40)安装在相机安装板(41)上;所述激光发射器(50)安装在激光器支架(51)上;所述传感器支架(71)安装在底座(10)上;所述检测传感器(70)安装在传感器支架(71)上。

2.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构,其特征在于:所述底板(30)通过螺钉固定在底座(10)上。

3.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构,其特征在于:所述相机(40)为CCD相机。

4.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构,其特征在于:所述相机安装板(41)和激光器支架(51)通过螺钉固定在底板(30)上。

5.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构,其特征在于:所述激光反射板(60)是L形的塑胶材料板。

6.根据权利要求5所述的一种反射式激光束线痕检测机构,其特征在于:所述激光反射板(60)水平部分上设置有三个反射板固定孔(61);所述激光反射板(60)通过螺钉安装在底板(30)上。

7.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构,其特征在于:所述检测传感器(70)是一种光电传感器。

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