[实用新型]一种LED生产用光刻装置

说明书

本实用新型公开了一种LED生产用光刻装置，包括固定座、固定架、保护壳体，所述固定架内部设置有硅片，所述硅片两侧设置有保护垫片，所述保护垫片上设置有压力传感器，所述保护垫片远离所述硅片一侧设置有固定杆，所述固定杆远离所述保护垫片一侧设置有电动推杆，所述硅片上方设置有第二光刻版，所述第二光刻版上方设置有第二盖板，所述硅片下方设置有第一光刻版，所述第一光刻版下方设置有第一盖板。有益效果在于：本实用新型不仅能对硅片进行稳定的固定工作，还能实现硅片的翻转，操作简单、方便，便于对硅片的两个面都进行加工，提高了光刻工作的效率。

技术领域

本实用新型涉及光刻装置领域，特别是涉及一种LED生产用光刻装置。

背景技术

随着LED技术的快速发展，LED产品的使用也越来越广泛，对LED产品的需求量也在不断提高，电子元件加工是LED生产的中的重要部分，在电子元件生产加工过程中经常需要对硅片进行光刻处理。

在需要对硅片的两个面都进行加工时，一般的光刻装置在更换面时操作麻烦，十分的不方便，影响了光刻工作的效率。

实用新型内容

为了克服上述问题，本实用新型的目的在于，提供一种LED生产用光刻装置，其优点是操作简单、方便，提高了光刻工作的效率。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种LED生产用光刻装置，包括固定座、固定架、保护壳体，所述固定架内部设置有硅片，所述硅片两侧设置有保护垫片，所述保护垫片上设置有压力传感器，所述压力传感器型号为LZ-MH26，所述保护垫片远离所述硅片一侧设置有固定杆，所述固定杆远离所述保护垫片一侧设置有电动推杆，所述硅片上方设置有第二光刻版，所述第二光刻版上方设置有第二盖板，所述硅片下方设置有第一光刻版，所述第一光刻版下方设置有第一盖板，所述第一盖板和所述第二盖板上设置有橡胶固定螺栓，所述第一盖板侧面设置有角度传感器，所述角度传感器型号为BWS4000，所述第一盖板下方设置有所述固定座，所述固定架一侧设置有主动轴，所述固定架另一侧设置有从动轴，所述固定座侧面设置有所述保护壳体，所述保护壳体内部设置有电机，所述电机下方设置有控制器，所述控制器型号为ARMIC0016，所述保护壳体前部设置有功能按钮，所述功能按钮下方设置有指示灯，所述功能按钮、所述指示灯、所述电机、所述电动推杆、所述角度传感器、所述压力传感器与所述控制器电连接。

如此设置，能通过所述电动推杆实现对所述硅片的固定和放松，能通过所述电机带动所述固定架转动，也就是实现所述硅片的翻转，使用简单、灵活。

上述结构中，将所述硅片放在所述保护垫片之间，通过所述功能按钮使所述电动推杆带动所述固定杆向所述硅片移动，当所述压力传感器检测到的压力值与压力设定值相同时，所述电动推杆停止工作，此时所述硅片被稳定固定在所述保护垫片之间，将所述第二光刻版放在所述固定架上，通过所述橡胶固定螺栓将所述第二盖板固定在所述固定架上，通过所述功能按钮使所述电机工作，当所述角度传感器检测到的所述固定架的转动角度与设定角度相同时，所述电机停止工作，此时所述固定架完成翻转，将所述第一光刻版放在所述固定架上，通过所述橡胶固定螺栓将所述第一盖板固定在所述固定架上，在光刻机对所述固定架上的所述硅片进行光刻处理并需要所述硅片换面时，通过所述功能按钮使所述电机工作，带动所述固定架进行转动，也就是带动所述硅片进行翻转，实现所述硅片的换面，操作简单、方便。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电动推杆与所述固定架通过螺钉固定连接，所述电动推杆与所述固定杆通过螺钉固定连接。

如此设置，保证了所述固定架和所述固定杆与所述电动推杆的连接稳定性。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述保护垫片与所述固定杆通过粘胶固定连接。

如此设置，保证了所述保护垫片与所述固定杆的连接稳定性。