[实用新型]一种LED生产用光刻装置有效
| 申请号： | 201821855107.4 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN209044302U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 蔡天平 | 申请（专利权）人： | 漳浦比速光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350600 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 保护垫片 光刻版 本实用新型 光刻装置 固定杆 固定架 盖板 保护壳体 电动推杆 两侧设置 内部设置 传感器 固定座 有压力 翻转 光刻 加工 | ||
1.一种LED生产用光刻装置，包括固定座、固定架、保护壳体，其特征在于：所述固定架内部设置有硅片，所述硅片两侧设置有保护垫片，所述保护垫片上设置有压力传感器，所述保护垫片远离所述硅片一侧设置有固定杆，所述固定杆远离所述保护垫片一侧设置有电动推杆，所述硅片上方设置有第二光刻版，所述第二光刻版上方设置有第二盖板，所述硅片下方设置有第一光刻版，所述第一光刻版下方设置有第一盖板，所述第一盖板和所述第二盖板上设置有橡胶固定螺栓，所述第一盖板侧面设置有角度传感器，所述第一盖板下方设置有所述固定座，所述固定架一侧设置有主动轴，所述固定架另一侧设置有从动轴，所述固定座侧面设置有所述保护壳体，所述保护壳体内部设置有电机，所述电机下方设置有控制器，所述保护壳体前部设置有功能按钮，所述功能按钮下方设置有指示灯，所述功能按钮、所述指示灯、所述电机、所述电动推杆、所述角度传感器、所述压力传感器与所述控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置，其特征在于：所述电动推杆与所述固定架通过螺钉固定连接，所述电动推杆与所述固定杆通过螺钉固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置，其特征在于：所述保护垫片与所述固定杆通过粘胶固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置，其特征在于：所述主动轴与所述固定架通过螺栓固定连接，所述从动轴与所述固定架通过螺栓固定连接，所述主动轴和所述从动轴与所述固定座滚动连接。
5.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置，其特征在于：所述电机与所述主动轴通过联轴器固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置，其特征在于：所述第一光刻版和所述第二光刻版与所述固定架通过卡槽固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置，其特征在于：所述第一盖板和所述第二盖板与所述固定架通过所述橡胶固定螺栓固定连接。
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