[实用新型]旋转湿法刻蚀设备

权利要求书

1.一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，包括：

用于容纳刻蚀液及装有待刻蚀晶圆的晶舟的刻蚀槽；

用于带动所述待刻蚀晶圆在所述晶舟内转动的旋转装置；

所述旋转装置包括传动辊，所述传动辊绕其中心轴转动，所述传动辊垂直于所述待刻蚀晶圆表面，所述传动辊的辊面接触所述待刻蚀晶圆侧面并带动所述待刻蚀晶圆随所述传动辊转动。

2.根据权利要求1所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，所述旋转装置还包括：驱动模块和连接所述驱动模块和所述传动辊的传动模块，所述驱动模块通过所述传动模块带动所述传动辊旋转。

3.根据权利要求2所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，所述驱动模块包括伺服电机。

4.根据权利要求2所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，所述传动模块包括联轴器，所述联轴器连接所述驱动模块和所述传动辊，所述驱动模块通过所述联轴器带动所述传动辊旋转。

5.根据权利要求2所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，所述传动辊的两端可动安装于所述刻蚀槽两侧相对的侧壁上，所述传动辊的至少一端穿过所述刻蚀槽的侧壁并连接所述传动模块。

6.根据权利要求5所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，在所述刻蚀槽侧壁上的所述传动辊的安装位置处设有密封轴承，所述密封轴承可动连接所述传动辊并支撑所述传动辊转动。

7.根据权利要求6所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，所述密封轴承和所述传动辊的表面包覆有耐腐蚀材料层。

8.根据权利要求2所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，所述传动辊的辊面包含粗糙面。

9.根据权利要求1所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，所述旋转湿法刻蚀设备还包括装卸载装置，所述装卸载装置设置于所述刻蚀槽的上方，所述装卸载装置包括用于抓取所述晶舟并使所述晶舟在所述刻蚀槽中装载或卸载的机械手臂。

10.根据权利要求9所述的一种旋转湿法刻蚀设备，其特征在于，所述旋转湿法刻蚀设备还包括控制模块，所述控制模块包括：

用于控制所述旋转装置的开关和旋转速度的旋转控制单元，连接所述旋转装置；

用于控制所述装卸载装置对所述晶舟进行装载和卸载的装卸载控制单元，连接所述装卸载装置。