[实用新型]硅通孔检测电路及集成电路

权利要求书

1.一种硅通孔检测电路，其特征在于，包括：

第一检测模块，包括：

第一比较单元；

第一输入单元，用于在第一时钟信号控制下将输入信号传输至所述第一比较单元的第一输入端；

第一开关单元，用于在第一检测控制信号控制下将第一节点的信号传输至所述第一比较单元的第二输入端，所述第一节点连接于硅通孔的第一端；

第二检测模块，包括：

第二输入单元，用于在第二时钟信号控制下将所述输入信号传输至第二节点；

第二开关单元，用于在第二检测控制信号控制下将第二节点的信号传输至硅通孔的第二端。

2.如权利要求1所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第一输入单元包括：

第一触发器，输入端连接输入信号，输出端连接第一比较单元的第一输入端，时钟端连接第一时钟信号。

3.如权利要求2所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第一输入单元还包括：

第一选择器，第一输入端连接输入信号，第二输入端连接第一比较单元的输出端，控制端连接第一选择控制信号，输出端连接所述第一触发器的输入端。

4.如权利要求3所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第一检测模块还包括：

第三开关单元，第一端连接于所述第一触发器的输出端，第二端连接于所述第一节点，控制端连接第一检测控制信号。

5.如权利要求1所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第二输入单元包括：

第二触发器，输入端连接输入信号，输出端连接第二节点，时钟端连接第二时钟信号。

6.如权利要求5所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第二输入单元还包括：

第二选择器，第一输入端连接输入信号，控制端连接第二选择控制信号，输出端连接所述第二触发器的输入端。

7.如权利要求6所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第二检测模块还包括：

第四开关单元，第一端连接所述硅通孔的第二端，控制端连接所述第二检测控制信号；

第二比较单元，第一输入端连接所述第四开关单元的第二端，第二输入端连接所述第二节点，输出端连接所述第二选择器的第二输入端。

8.如权利要求7所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第一检测模块设置于第一芯片层，所述第二检测模块设置于第二芯片层，所述第一芯片层和所述第二芯片层通过硅通孔连接。

9.如权利要求8所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第一芯片层上顺序设置有多个第一检测模块，其中，前一个第一检测模块中的第一触发器的输出端连接于后一个第一检测模块的输入端；

所述第二芯片层上顺序设置有多个第二检测模块，其中，前一个第二检测模块中的第二触发器的输出端连接于后一个第二检测模块的输入端。

10.如权利要求9所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述硅通孔检测电路还包括：

第三比较单元，多个所述第一比较单元的输出端分别连接于所述第三比较单元的输入端。

11.如权利要求1-10任一项所述的硅通孔检测电路，其特征在于，各个比较单元为异或门。

12.如权利要求1所述的硅通孔检测电路，其特征在于：

所述第一开关单元为N型金属氧化物半导体晶体管，所述第二开关单元为P型金属氧化物半导体晶体管；

或者，所述第一开关单元为P型金属氧化物半导体晶体管，所述第二开关单元为N型金属氧化物半导体晶体管。

13.如权利要求1所述的硅通孔检测电路，其特征在于，所述第一开关单元和第二开关单元均为互补金属氧化物半导体传输门。

14.一种集成电路，其特征在于，包括如权利要求1-13任一所述硅通孔检测电路。