[实用新型]导向式大面积纳米均匀热压印装置

说明书

本实用新型公开了一种导向式大面积纳米均匀热压印装置，包括：底座，在底座上垂直设置有导向槽，支撑座，设于底座上方，支撑座插于导向槽内并且可在导向槽内纵向移动，在支撑座底部开设有工作腔，顶部设有开口；台座，放置于底座顶面的工作腔内，在台座的上表面开设有容置槽；加热板，放置于容置槽内；基板，设于加热板上方；压印胶，滴于基板中心；定位固定件，固定于支撑座顶面上；模板，设于安装槽内；模板固定件，设于模板上方的安装槽内；加压板，设于模板固定件上方；驱动装置，与加压板连接。本实用新型解决了压印设备在压印大面积的被压印物时存在被压印物纳米压印精度低、成品率低的问题，实现了模板纳米结构到大面积基底的精确转印。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，特别涉及一种导向式大面积纳米均匀热压印装置。

背景技术

近年来，纳米压印技术有了很大进展。由最初采用的热固性材料作为转印介质填充在模板与待加工材料之间，通过加压并加热的方法使其固化的方法转变为采用光刻胶代替热固性材料，注入式代替压印式，避免了高压及加热对加工器件的损坏，也有效防止了气泡对加工精度的影响。

纳米压印技术与现有的微纳米制造方法相比，具有高分辨率、低成本和高生产率的特点，现有的纳米压印技术可达到5纳米以下，且能实现大面积纳米图形化。目前，纳米压印技术在高效太阳能电池板、大尺寸高清平板显示，超大尺寸微流控生物芯片等领域得到广泛应用，且存在着巨大的市场需求。

现有的平板型纳米压印设备对超大尺寸的基底进行纳米压印时，存在以下缺点：下压机构对承载模板的承压板外边缘施加压力或通过伺服电机对承载基板的托板外边缘施加压力使模板和基板贴合压紧的过程中，因模板或基底承载机构靠近外边缘受到的压力大于靠近中部受到的压力，导致模板和基底贴合面压力分布不均匀、模板与基底共形接触参差不齐等问题，影响模板微纳米结构转印到基底的精度，造成大面积纳米压印产品压印精度低，成型效果差，成型参差不齐，成品率低。

发明内容

为解决上述存在的问题，本实用新型提供一种导向式大面积纳米均匀热压印装置，解决了压印设备在压印大面积的被压印物时存在被压印物纳米压印精度低、成品率低的问题，实现了模板纳米结构到大面积基底的精确转印。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：导向式大面积纳米均匀热压印装置，包括：

底座，在底座上垂直设置有导向槽，

支撑座，设于底座上方，支撑座插于导向槽内并且可在导向槽内纵向移动，在支撑座底部开设有工作腔，顶部设有开口，开口与工作腔相通且开口的尺寸小于工作腔的尺寸，在导向槽内设有与支撑座的插入部分固定的驱动机构；

台座，放置于底座顶面的工作腔内，在台座的上表面开设有容置槽，台座的尺寸小于开口的尺寸；

加热板，放置于容置槽内，加热板的顶面与台座的顶面平齐，加热板顶面上均匀开设有多个真空槽，真空槽与外部的真空泵或抽气泵连接；

基板，设于加热板上方，用于放置压印胶，通过真空槽产生的真空将基板牢牢吸附在加热板上；

定位固定件，固定于支撑座顶面上，定位固定件可沿支撑座横向水平移动，支撑座顶面与定位固定件之间形成安装槽；

模板，设于安装槽内，模板与安装槽适配，模板的工作面朝向开口处，模板工作面上设置纳米压印图案；

模板固定件，设于模板上方的安装槽内并与安装槽适配，通过定位固定件横向移动将模板及模板固定件夹紧固定；

加压板，设于模板固定件上方，用于对模板固定件施压，加压板与模板固定件的接触面上设有压力传感器，用于实时检测施加压力值；

驱动装置，设于加压板上方并与加压板连接，用于驱动加压板做纵向运动。