[实用新型]导向式大面积纳米均匀热压印装置

权利要求书

1.导向式大面积纳米均匀热压印装置，其特征在于，包括：

底座，在底座上垂直设置有导向槽，

支撑座，设于底座上方，支撑座插于导向槽内并且可在导向槽内纵向移动，在支撑座底部开设有工作腔，顶部设有开口，开口与工作腔相通且开口的尺寸小于工作腔的尺寸，在导向槽内设有与支撑座的插入部分固定的驱动机构；

台座，放置于底座顶面的工作腔内，在台座的上表面开设有容置槽，台座的尺寸小于开口的尺寸；

加热板，放置于容置槽内，加热板的顶面与台座的顶面平齐，加热板顶面上均匀开设有多个真空槽，真空槽与外部的真空泵或抽气泵连接；

基板，设于加热板上方，用于放置压印胶，通过真空槽产生的真空将基板牢牢吸附在加热板上；

定位固定件，固定于支撑座顶面上，定位固定装置可沿支撑座横向水平移动，支撑座顶面与定位固定件之间形成安装槽；

模板，设于安装槽内，模板与安装槽适配，模板的工作面朝向开口处，模板工作面上设置纳米压印图案；

模板固定件，设于模板上方的安装槽内并与安装槽适配，通过定位固定件横向移动将模板及模板固定件夹紧固定；

加压板，设于模板固定件上方，用于对模板固定件施压，加压板与模板固定件的接触面上设有压力传感器，用于实时检测施加压力值；

驱动装置，设于加压板上方并与加压板连接，用于驱动加压板做纵向运动。

2.根据权利要求1所述的导向式大面积纳米均匀热压印装置，其特征在于：所述驱动机构为电动缸。

3.根据权利要求1所述的导向式大面积纳米均匀热压印装置，其特征在于：所述台座上表面设有激光位移传感器，激光位移传感器设置不少于三个且均匀分布在台座顶面边缘位置，用于实时监测基板与模板的贴合位置。

4.根据权利要求1所述的导向式大面积纳米均匀热压印装置，其特征在于：所述模板固定件为薄板，模板固定件底面的边缘以及中心位置设有真空吸附槽，真空吸附槽与外部的真空泵连接，用于平整、完全吸附模板。

5.根据权利要求1所述的导向式大面积纳米均匀热压印装置，其特征在于：所述定位固定件包括开设于支撑座顶面上的导向槽以及与导向槽滑动连接的导向定位块，还包括与导向定位块连接的驱动气缸。

6.根据权利要求1所述的导向式大面积纳米均匀热压印装置，其特征在于：所述压力传感器至少设置四组，压力传感器包括设于加压板中心位置的中心压力传感器以及均匀分布在以加压板中心为中心的同心圆上的外围压力传感器。

7.根据权利要求1所述的导向式大面积纳米均匀热压印装置，其特征在于：所述驱动装置为与加压板连接的气缸或液压缸。