[实用新型]一种生产加工用晶圆导送装置

权利要求书

1.一种生产加工用晶圆导送装置，包括底座（1），所述底座（1）的上表壁固定连接有安装座（4），所述安装座（4）的上表壁开设有凹槽（10），所述安装座（4）的内部固定连接有电机（5），所述电机（5）的输出端固定连接有固定杆（6），所述固定杆（6）远离电机（5）输出端的一端与转盘（8）底部开设的连接槽（7）固定连接，所述转盘（8）的上表壁固定连接有支撑座（9），其特征在于：所述底座（1）的两侧均固定连接有连接杆（2），所述连接杆（2）远离底座（1）的一端固定连接有滚轮（3），所述支撑座（9）的上表壁固定连接有固定座（11），所述固定座（11）两侧的内部均开设有滑槽（12），所述滑槽（12）的内部均固定连接有滑杆（13），所述滑杆（13）的数量为两个，且两个滑杆（13）的表面分别滑动连接有第一滑块（14）和第二滑块（19），所述第一滑块（14）和第二滑块（19）的底部分别固定连接有第一液压杆（17）和第二液压杆（18），所述第一液压杆（17）和第二液压杆（18）远离第一滑块（14）和第二滑块（19）的一端分别与第一液压缸（15）和第二液压缸（16）的输出端固定连接，所述第一液压缸（15）和第二液压缸（16）均固定连接在固定座（11）底部的两侧，所述第一滑块（14）和第二滑块（19）相背的一侧均固定连接有机械臂（20），所述机械臂（20）远离第一滑块（14）和第二滑块（19）的一端通过固定螺栓（21）固定连接有连接座（22），所述连接座（22）的底部均固定连接有气动吸盘（23），所述电机（5）与外部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种生产加工用晶圆导送装置，其特征在于：所述滚轮（3）的数量为四个，且四个滚轮（3）以底座（1）的中心轴中心对称。

3.根据权利要求1所述的一种生产加工用晶圆导送装置，其特征在于：所述电机（5）的底部固定连接有放置座（501）。

4.根据权利要求1所述的一种生产加工用晶圆导送装置，其特征在于：所述凹槽（10）的形状为圆形，且凹槽（10）的半径大于转盘（8）的半径。

5.根据权利要求1所述的一种生产加工用晶圆导送装置，其特征在于：所述机械臂（20）的表面涂有防锈漆。