[实用新型]一种组合式等离子刻蚀夹具

说明书

本实用新型公开了一种组合式等离子刻蚀夹具，包括上圆环体和下圆环体，所述上圆环体放置在所述下圆环体上方，所述下圆环体上表面设有环形凹槽，所述上圆环体由若干相同单元体组成，相邻所述单元体的连接面为倾斜面，并且所述倾斜面与所述下圆环体上表面成夹角，所述单元体的下表面设有凸起且能够嵌设在所述环形凹槽内，所述单元体能够沿所述倾斜面从组成的所述上圆环体上拿出或者插入。本实用新型解决现有技术中夹具在使用过程中，其上表面部分刻蚀或者损坏，需要整体报废和不能对受损蚀部分的夹具进行针对性更换的问题。

技术领域

本实用新型属于属于PSS制程设备领域，具体涉及一种组合式等离子刻蚀夹具。

背景技术

目前的PSS的生产一般采用电感耦合等离子体进行蚀刻，通过机械臂将tray盘从存放tray盘的腔体中转移到中转腔，最后运送到工作腔中。因为蚀刻中需要对tray盘通过氦气进行降温，氦气通入量需要准确控制。而夹具就是为了压住tray盘，从而保证氦气的稳定的一个部件。但其所处环境导致其会被蚀刻变薄，最终报废。现有等离子蚀刻用夹具价格昂贵，基本都为一体式，随着使用次数的增加，边缘会被逐渐蚀刻，无法很好压住tray盘，导致氦漏，虽然夹具只是部分被蚀刻，但只能整体报废，缩短了夹具使用寿命。

实用新型内容

鉴于上述现有技术不足，本实用新型提供了一种组合式等离子刻蚀夹具，以解决现有技术中夹具在使用过程中，其上表面部分刻蚀或者损坏，需要整体报废和不能对受损蚀部分的夹具进行针对性更换的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型通过如下技术方案实现：一种组合式等离子刻蚀夹具，包括上圆环体和下圆环体，所述上圆环体放置在所述下圆环体上方，所述下圆环体上表面设有环形凹槽，所述上圆环体由若干相同单元体组成，相邻所述单元体的连接面为倾斜面，并且所述倾斜面与所述下圆环体上表面成夹角，所述单元体的下表面设有凸起且能够嵌设在所述环形凹槽内，所述单元体能够沿所述倾斜面从组成的所述上圆环体上拿出或者插入。

进一步地，所述倾斜面与所述下圆环体上表面形成的夹角为锐角。

进一步地，所述倾斜面与所述下圆环体上表面成45度夹角。

进一步地，所述若干相同单元体为4段。

进一步地，所述上圆环体和所述下圆环体为同半径圆环体。

进一步地，所述单元体的材质为碳化硅或者氮化硅。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

将夹具分成上下两个圆环体，以方便易刻蚀的上圆环体更换，下圆环体不需要换，从而降低了更换成本，再将上圆环体分成若干相同单元体，使在使用过程中，上圆环体部分被损坏或部分刻蚀，能够针对性更换。总之，本实用新型结构简单合理，更换方便，成本低、效率高。

附图说明

附图仅用于示出具体实施例的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。

图1是本实用新型结构示意图。

图2是图A-A剖面图。

图3是上圆环体结构示意图。

图中：1-上圆环体，101-单元体，102-倾斜面，103-凸起，104-固定耳，2-下圆环体，201-环形凹槽。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做出进一步说明，本实用新型实施方式包括但不限于下列实施例。