[实用新型]一种组合式等离子刻蚀夹具有效
| 申请号： | 201821770618.6 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN208861930U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 曹佳辉;于玉斋;魏明德;王明明;郑锦涛;张洋洋;褚宏扬;权亮亮 | 申请（专利权）人： | 徐州同鑫光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 上圆环体 下圆环体 单元体 倾斜面 上表面 等离子刻蚀夹具 夹具 本实用新型 环形凹槽 组合式 整体报废 连接面 下表面 刻蚀 凸起 受损 | ||
【权利要求书】：
1.一种组合式等离子刻蚀夹具，其特征在于：包括上圆环体和下圆环体，所述上圆环体放置在所述下圆环体上方，所述下圆环体上表面设有环形凹槽，所述上圆环体由若干相同单元体组成，相邻所述单元体的连接面为倾斜面，并且所述倾斜面与所述下圆环体上表面成夹角，所述单元体的下表面设有凸起且能够嵌设在所述环形凹槽内，所述单元体能够沿所述倾斜面从组成的所述上圆环体上拿出或者插入。
2.根据权利要求1所述的一种组合式等离子刻蚀夹具，其特征在于：所述倾斜面与所述下圆环体上表面形成的夹角为锐角。
3.根据权利要求2所述的一种组合式等离子刻蚀夹具，其特征在于：所述倾斜面与所述下圆环体上表面形成45度角。
4.根据权利要求1所述的一种组合式等离子刻蚀夹具，其特征在于：所述若干相同单元体为4段。
5.根据权利要求1所述的一种组合式等离子刻蚀夹具，其特征在于：所述上圆环体和所述下圆环体为同半径圆环体。
6.根据权利要求1至5中任一所述的一种组合式等离子刻蚀夹具，其特征在于：所述单元体的材质为碳化硅或者氮化硅。
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