[实用新型]一种真空吸笔

权利要求书

1.一种真空吸笔，用于吸放硅片，其特征在于，包括手持部和吸盘，所述吸盘密封连接于所述手持部的一个端面上，所述吸盘为软膜材质，所述吸盘远离所述手持部的表面向内凹陷形成一吸气槽，所述吸盘上开设有一与吸气槽相连通的气流通道，所述手持部上开设有一通气孔，所述手持部的内部开设有一连通所述通气孔和所述气流通道的气体通道。

2.如权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述手持部的材质为非金属材质。

3.如权利要求2所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述手持部的材质为PVC材质。

4.如权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述手持部沿垂直于其长度方向的截面形状为圆形或椭圆形。

5.如权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述吸盘的材质为防静电且不挂尘的软膜材质。

6.如权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述吸盘的材质为硅胶材质。

7.如权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述吸盘的形状为片状或喇叭状。

8.如权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述通气孔位于所述手持部的侧壁上。

9.如权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述通气孔位于所述手持部的另一个端面上。

10.如权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于，所述气流通道的中心线与所述气体通道的中心线共线。