[实用新型]全自动镀膜装置有效
| 申请号： | 201821760192.6 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN209227047U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 何小锐;郑健 | 申请（专利权）人： | 深圳市派恩新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 王玮 |
| 地址： | 518117 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜室 镀膜装置 坩埚 本实用新型 运载机构 承料台 出料口 进料口 离子源 自动门 镀膜过程 控制电脑 驱动机构 全自动化 上方移动 运料机构 真空镀膜 蒸镀材料 自动进料 真空泵 出料 导轨 底端 气缸 生产成本 横贯 运载 蒸发 室内 生产 | ||
1.一种全自动镀膜装置，包括真空镀膜室，真空镀膜室内设有用于加热蒸镀材料的坩埚和用于为蒸发状态的蒸镀材料提供能量的离子源，其特征在于：
所述坩埚和所述离子源设于所述真空镀膜室内的底端，所述真空镀膜室内顶端设有运载机构和驱动机构，所述运载机构与横贯真空镀膜室顶端的导轨相连；
所述真空镀膜室在所述导轨的两端位置所在的相对两侧分别设有进料口和出料口，所述进料口和所述出料口设有自动门，所述自动门与气缸相连；所述进料口与所述出料口设有承料台，所述承料台设有运料机构；
所述真空镀膜室与真空泵相连，所述真空泵用于对真空镀膜室抽气；
所述全自动镀膜装置设有控制电脑，所述控制电脑与所述运载机构、所述驱动机构、所述气缸以及所述运料机构相连。
2.如权利要求1所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述运载机构包括依次相连的吸盘、吸管和气缸，所述运载机构和抽气装置相连。
3.如权利要求2所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述抽气装置包括真空泵和导气管。
4.如权利要求1所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述驱动机构包括电动机、丝杆和导杆。
5.如权利要求1所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述运料机构包括导轨、运料板和气缸，所述气缸驱动运料板在导轨上运动。
6.如权利要求1所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述承料台靠近所述坩埚的一端设有挡板。
7.如权利要求1所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述自动门通过导杆与所述气缸相连，所述导杆与所述自动门相连的一端设有连接块。
8.如权利要求1所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述坩埚的周侧和底部设有线圈，所述线圈与电源相连。
9.如权利要求1所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述坩埚数量与所述离子源数量为2-8个。
10.如权利要求9所述的全自动镀膜装置，其特征在于，所述坩埚与所述离子源均匀设置。
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