[实用新型]一种可检测入射光强度的霍尔传感器有效
| 申请号: | 201821752802.8 | 申请日: | 2018-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN209016098U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L43/04 | 分类号: | H01L43/04;H01L43/06;H01L43/14;G01J1/42 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 528458 广东省中*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 透光导电层 霍尔传感器 可检测 入射光 衬底层 法布里 金属层 珀罗腔 共振 磁极 本实用新型 共振频率 霍尔效应 两侧设置 左右设置 电场 电极 传感器 金属条 灵敏性 检测 加载 响应 | ||
1.一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:包括衬底层(1),设置于衬底层(1)上方的金属层(2),设置于金属层(2)上方的透光导电层(3),所述透光导电层(3)的上方还设置有多个平行排列的金属条(4);所述透光导电层(3)的左右设置有电极(6);所述透光导电层(3)的前后两侧设置有磁极(5)。
2.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述透光导电层(3)为金属氧化物制成。
3.如权利要求1或2所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述透光导电层(3)为ITO或FTO或ZA0。
4.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属条(4)的设置方向为水平方向。
5.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属条(4)的为水平横向设置。
6.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属条(4)的为水平纵向设置。
7.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述衬底层(1)的为硅层。
8.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属层(2)、金属条(4)为导电良好的金属材料制成。
9.如权利要求1或8所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属层(2)、金属条(4)为金或银制成。
10.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述透光导电层(3)的上表面还设置有石墨烯层(7)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山科立特光电科技有限公司,未经中山科立特光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821752802.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。





