[实用新型]一种可检测入射光强度的霍尔传感器有效

专利信息
申请号: 201821752802.8 申请日: 2018-10-29
公开(公告)号: CN209016098U 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 中山科立特光电科技有限公司
主分类号: H01L43/04 分类号: H01L43/04;H01L43/06;H01L43/14;G01J1/42
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 528458 广东省中*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 透光导电层 霍尔传感器 可检测 入射光 衬底层 法布里 金属层 珀罗腔 共振 磁极 本实用新型 共振频率 霍尔效应 两侧设置 左右设置 电场 电极 传感器 金属条 灵敏性 检测 加载 响应
【权利要求书】:

1.一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:包括衬底层(1),设置于衬底层(1)上方的金属层(2),设置于金属层(2)上方的透光导电层(3),所述透光导电层(3)的上方还设置有多个平行排列的金属条(4);所述透光导电层(3)的左右设置有电极(6);所述透光导电层(3)的前后两侧设置有磁极(5)。

2.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述透光导电层(3)为金属氧化物制成。

3.如权利要求1或2所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述透光导电层(3)为ITO或FTO或ZA0。

4.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属条(4)的设置方向为水平方向。

5.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属条(4)的为水平横向设置。

6.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属条(4)的为水平纵向设置。

7.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述衬底层(1)的为硅层。

8.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属层(2)、金属条(4)为导电良好的金属材料制成。

9.如权利要求1或8所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述金属层(2)、金属条(4)为金或银制成。

10.如权利要求1所述的一种可检测入射光强度的霍尔传感器,其特征在于:所述透光导电层(3)的上表面还设置有石墨烯层(7)。

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