[实用新型]一种压差传感器装置有效
| 申请号： | 201821742302.6 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN208860520U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李向光 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板 压差传感器 容腔 压差 壳体 开口 装置封装结构 本实用新型 防腐蚀性能 连通壳体 上下表面 周向边缘 体积小 包覆 侧壁 内腔 防水 贯穿 外部 | ||
1.一种压差传感器装置，其特征在于，包括：
具有容腔的壳体，所述壳体包括基板以及结合固定于所述基板周向边缘位置的侧壁；
位于所述容腔内的且固定于所述基板上的压差MEMS传感器和ASIC芯片；以及
位于所述容腔内的包覆所述压差MEMS传感器和ASIC芯片的胶体；
所述MEMS传感器与所述ASIC芯片之间、所述ASIC芯片与所述基板之间分别电性连接；
所述基板上的与压差MEMS传感器对应的位置处，包括有贯穿所述基板上下表面的开口，该开口将壳体外部和所述压差MEMS传感器的内腔连通。
2.根据权利要求1所述的一种压差传感器装置，其特征在于，所述压差MEMS传感器与所述ASIC芯片间通过金线电性连接；所述ASIC芯片与所述基板间通过金线电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种压差传感器装置，其特征在于，所述侧壁的远离所述基板一端形成有装配口，该侧壁的远离基板一端的外壁上包括有环绕侧壁一周向外延伸出的凸起结构。
4.根据权利要求1所述的一种压差传感器装置，其特征在于，所述侧壁的靠近所述基板一端的外壁上包括有环绕侧壁一周向外延伸形成的延伸结构。
5.根据权利要求1所述的一种压差传感器装置，其特征在于，所述侧壁的靠近所述基板的一侧端面与所述基板板面之间通过锡膏或环氧胶粘贴固定。
6.根据权利要求1所述的一种压差传感器装置，其特征在于，所述胶体为硅凝胶体，所述壳体内壁表面与所述胶体之间贴合固定。
7.根据权利要求1所述的一种压差传感器装置，其特征在于，所述壳体的材料为陶瓷或金属。
8.根据权利要求1所述的一种压差传感器装置，其特征在于，所述基板的材料为FR4板材、BT板或陶瓷板。
9.根据权利要求1所述的一种压差传感器装置，其特征在于，所述压差MEMS传感器与所述基板之间、所述ASIC芯片与所述基板之间分别通过粘片胶粘贴固定。
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