[实用新型]一种高效的靶材加工用清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种高效的靶材加工用清洗装置，属于靶材加工清洗技术领域，其技术方案要点是，包括壳体、清洗腔室和烘干腔室，清洗腔室的内壁侧壁固定连接有浸没清洗器，浸没清洗器包括超声防水探头和连接板，超声防水探头的右侧固定连接有强化空心球，浸没清洗器的一侧设置有放置装置，放置装置包括固定板，固定板的上表面固定连接有档条，档条的两侧均对称加工有卡槽，卡槽的底部与固定板的上表面相互焊接，清洗腔室的右侧固定连接有隔板，烘干腔室的内侧壁固定连接有烘干板，该清洗装置通过设置清洗腔室使得靶材清洗更加高效，通过烘干腔室实现了烘干靶材的效果，便利了整个靶材加工工作。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工清洗技术领域，特别涉及一种高效的靶材加工用清洗装置。

背景技术

众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化，靶材材质分为金属靶材、陶瓷靶材和合金靶材，而金属合金靶材在加工过程中为保证靶材的质量通常需要进行相应清洗处理。

靶材的清洗直接决定了靶材表面的洁净度，干净优质的靶材能够有效提高靶材的使用效率，目前一般的靶材清洗是通过人工进行清洗，人工清洗靶材会导致清洗不干净且留有水印，现有的人工清洗靶材产生了清洗效率低下和无法及时烘干靶材的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种高效的靶材加工用清洗装置，解决现有人工清洗靶材所带来的清洗效率低下和无法及时烘干靶材的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种高效的靶材加工用清洗装置，包括壳体、清洗腔室和烘干腔室，所述清洗腔室的内壁侧壁固定连接有浸没清洗器，所述浸没清洗器包括超声防水探头和连接板，所述超声防水探头的右侧固定连接有强化空心球，所述超声防水探头和连接板通过强化空心球相互连接，所述连接板与清洗腔室内侧壁通过螺栓固定连接，所述浸没清洗器的一侧设置有放置装置，所述放置装置包括固定板和脚柱，所述固定板的上表面固定连接有若干个档条，若干个所述档条的两侧均对称加工有卡槽，所述卡槽的底部与固定板的上表面相互焊接，所述脚柱的一端与固定板的底部固定连接，所述脚柱的另一端与清洗腔室的内壁底部固定连接，所述清洗腔室的右侧固定连接有隔板，所述清洗腔室与烘干腔室通过隔板相互隔开，所述隔板的右侧固定连接有烘干板。

优选的，所述烘干板设置有上下两组，且烘干板的上表面开设有加温区，所述烘干板的边缘固定连接有导管，所述烘干板与烘干腔室通过导管固定连接。

优选的，所述壳体的左侧壁固定连接有排液管，所述壳体的右侧壁开设有出线口，所述排液管的一端与清洗腔室的左侧底部相互插接。

优选的，所述浸没清洗器共设置有两组，且两组浸没清洗器关于放置装置对称分布，所述浸没清洗器设置在略高于放置装置的位置。

优选的，所述卡槽总共设置有三组，且三组卡槽关于档条对称分布，所述卡槽呈“凹形”状。

优选的，所述清洗腔室的顶部设置有盖板，且盖板的面积等于壳体上表面面积的一半，所述盖板的一端与壳体通过铰链活动连接。

优选的，所述烘干腔室的正面设置有开启门，且开启门的面积等于壳体侧面面积的一半，所述开启门的一端与壳体通过铰链活动连接。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、该种高效的靶材加工用清洗装置，清洗腔室的内壁侧壁固定连接有浸没清洗器，浸没清洗器包括超声防水探头和连接板，超声防水探头的右侧固定连接有强化空心球，超声防水探头和连接板通过强化空心球相互连接，清洗腔室内注入清洗液后，超声防水探头进行超声波清洗靶材，经强化空心球强化的声波在清洗液中能够更加迅速高效的清洗靶材，通过在清洗液中的浸没清洗器，提高了靶材在加工过程中的清洗效率，节约了人力。