[实用新型]一种高效的靶材加工用清洗装置有效
申请号: | 201821734000.4 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN208991371U | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 王永超 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00;F26B23/04 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 边延松 |
地址: | 450000 河南省郑州市郑州航空港区*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 靶材加工 清洗腔室 烘干腔室 清洗装置 固定板 清洗器 浸没 放置装置 上表面 探头 靶材 超声 档条 卡槽 防水 隔板 技术方案要点 本实用新型 对称加工 清洗技术 烘干板 空心球 连接板 内侧壁 烘干 侧壁 壳体 内壁 焊接 清洗 便利 | ||
1.一种高效的靶材加工用清洗装置,包括壳体(1)、清洗腔室(2)和烘干腔室(3),其特征在于:所述清洗腔室(2)的内壁侧壁固定连接有浸没清洗器(5),所述浸没清洗器(5)包括超声防水探头(51)和连接板(53),所述超声防水探头(51)的右侧固定连接有强化空心球(52),所述超声防水探头(51)和连接板(53)通过强化空心球(52)相互连接,所述连接板(53)与清洗腔室(2)内侧壁通过螺栓固定连接,所述浸没清洗器(5)的一侧设置有放置装置(4),所述放置装置(4)包括固定板(41)和脚柱(44),所述固定板(41)的上表面固定连接有若干个档条(42),若干个所述档条(42)的两侧均对称加工有卡槽(43),所述卡槽(43)的底部与固定板(41)的上表面相互焊接,所述脚柱(44)的一端与固定板(41)的底部固定连接,所述脚柱(44)的另一端与清洗腔室(2)的内壁底部固定连接,所述清洗腔室(2)的右侧固定连接有隔板(7),所述清洗腔室(2)与烘干腔室(3)通过隔板(7)相互隔开,所述隔板(7)的右侧固定连接有烘干板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种高效的靶材加工用清洗装置,其特征在于:所述烘干板(8)设置有上下两组,且烘干板(8)的上表面开设有加温区(81),所述烘干板(8)的边缘固定连接有导管(82),所述烘干板(8)与烘干腔室(3)通过导管(82)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种高效的靶材加工用清洗装置,其特征在于:所述壳体(1)的左侧壁固定连接有排液管(6),所述壳体(1)的右侧壁开设有出线口(9),所述排液管(6)的一端与清洗腔室(2)的左侧底部相互插接。
4.根据权利要求1所述的一种高效的靶材加工用清洗装置,其特征在于:所述浸没清洗器(5)共设置有两组,且两组浸没清洗器(5)关于放置装置(4)对称分布,所述浸没清洗器(5)设置在略高于放置装置(4)的位置。
5.根据权利要求1所述的一种高效的靶材加工用清洗装置,其特征在于:所述卡槽(43)总共设置有三组,且三组卡槽(43)关于档条(42)对称分布,所述卡槽(43)呈“凹形”状。
6.根据权利要求1所述的一种高效的靶材加工用清洗装置,其特征在于:所述清洗腔室(2)的顶部设置有盖板(21),且盖板(21)的面积等于壳体(1)上表面面积的一半,所述盖板(21)的一端与壳体(1)通过铰链活动连接。
7.根据权利要求1所述的一种高效的靶材加工用清洗装置,其特征在于:所述烘干腔室(3)的正面设置有开启门(31),且开启门(31)的面积等于壳体(1)侧面面积的一半,所述开启门(31)的一端与壳体(1)通过铰链活动连接。
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